Ano ang mga pinagmumulan ng polusyon ng vacuum coating equipment

Angkagamitan sa vacuum coatingay binubuo ng maraming tiyak na bahagi, na ginawa sa pamamagitan ng maraming proseso, tulad ng hinang, paggiling, pagliko, pagpaplano, pagbubutas, paggiling at iba pa.Dahil sa mga gawaing ito, ang ibabaw ng mga bahagi ng kagamitan ay hindi maiiwasang mahawa ng ilang mga pollutant tulad ng grasa, dumi ng langis, metal chips, welding flux, polishing paste, mga marka ng pawis at iba pa.Ang mga pollutant na ito ay madaling mag-volatilize sa ilalim ng mga kondisyon ng vacuum, kaya nakakaapekto sa ultimate vacuum ng kagamitan.

Bilang karagdagan, ang mga vacuum pollutants na ito mula sa mekanikal na pagproseso ay sumisipsip ng malaking halaga ng gas sa kapaligiran ng presyon ng atmospera, at sa estado ng vacuum, ang mga dating na-adsorbed na gas na ito ay ilalabas din muli, na nagiging isang pangunahing kadahilanan na naglilimita sa limitasyon ng vacuum.Para sa kadahilanang ito, ang mga pollutant ay dapat na alisin bago ang mga bahagi ng vacuum coating machine ay binuo.

Sa panahon ng paggamit ng mga kagamitang pang-vacuum, ang mga bahagi nito ay kontaminado rin.Gayunpaman, ang polusyon mula sa pinagmulang ito ay pangunahing sanhi ng mga kondisyon ng paggamit at vacuum pump.

1. Ang pagsingaw ng filament ng vacuum gauge sa ilalim ng mga kondisyon ng mataas na temperatura ay hahantong sa pagbuo ng isang pelikula sa ceramic insulator, na makakasira sa lakas ng pagkakabukod nito sa isang tiyak na lawak, at magkakaroon din ng tiyak na epekto sa katumpakan ng pagsukat;

2. Dahil sa mataas na temperatura ng pagsingaw, isang metal film ang mabubuo sa ibabaw malapit sa filament ng electron gun sa vacuum;

3. Dahil sa pag-sputtering ng workpiece, ang panloob na dingding ng ion beam etching equipment ay kontaminado ng splashes;

4. Ang panloob na dingding ng vacuum evaporation coating equipment ay kontaminado ng evaporation target material nito;

5. Ang sistema ng pagpapatayo ng vacuum ay madalas na ginagamit, at ang sistema ay kontaminado ng mga evaporated substance;

6. Ang diffusion pump oil at mechanical pump oil sa vacuum coating equipment ay isa ring pangunahing pinagmumulan ng polusyon.Matapos gumana nang mahabang panahon ang coating machine, maaaring magkaroon ng oil film sa loob ng kagamitan.

Sa kabuuan, ang vacuum sanitation ng kagamitan ay kinabibilangan ng vacuum equipment, vacuum system, vacuum process production at iba pang aspeto at link, pati na rin ang mga kinakailangan ng vacuum coating equipment mismo at espesyal na vacuum process sa mga kondisyon ng paggamit.Samakatuwid, ang polusyon sa vacuum ay isang problema na karapat-dapat ng pansin, dahil ang mga polusyon na ito ay makakaapekto sa pagganap ng kagamitan, at dapat bigyan ng pansin ang regular o anumang oras na paglilinis.