Gumagamit ang serye ng kagamitang ito ng mga target ng magnetron upang i-convert ang mga coating material sa nanometer sized na particle, na idineposito sa ibabaw ng mga substrate upang bumuo ng mga manipis na pelikula.Ang rolled film ay inilalagay sa vacuum chamber.Sa pamamagitan ng electrically driven winding structure, ang isang dulo ay tumatanggap ng pelikula at ang isa ay naglalagay ng pelikula.Patuloy itong dumadaan sa target na lugar at tumatanggap ng mga target na particle upang bumuo ng isang siksik na pelikula.
Katangian:
1. Mababang temperatura na bumubuo ng pelikula.Ang temperatura ay may maliit na epekto sa pelikula at hindi magbubunga ng pagpapapangit.Ito ay angkop para sa PET, PI at iba pang base material coil films.
2. Maaaring idisenyo ang kapal ng pelikula.Ang manipis o makapal na coatings ay maaaring idisenyo at ideposito sa pamamagitan ng proseso ng pagsasaayos.
3. Maramihang disenyo ng target na lokasyon, flexible na proseso.Ang buong makina ay maaaring nilagyan ng walong target, na maaaring magamit bilang alinman sa simpleng metal na target o compound at oxide na mga target.Maaari itong magamit upang maghanda ng mga single-layer na pelikula na may solong istraktura o multi-layer na mga pelikula na may pinagsama-samang istraktura.Ang proseso ay napaka-flexible.
Ang kagamitan ay maaaring maghanda ng electromagnetic shielding film, flexible circuit board coating, iba't ibang dielectric films, multi-layer AR antireflection film, HR high antireflection film, color film, atbp. ang kagamitan ay may napakalawak na hanay ng mga application, at single-layer film deposition maaaring kumpletuhin sa pamamagitan ng isang beses na deposition ng pelikula.
Ang kagamitan ay maaaring gumamit ng mga simpleng target na metal tulad ng Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, atbp., o mga compound target tulad ng SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, atbp.
Maliit ang laki ng kagamitan, compact sa disenyo ng istraktura, maliit sa lawak ng sahig, mababa sa pagkonsumo ng enerhiya, at flexible sa pagsasaayos.Ito ay napaka-angkop para sa proseso ng pananaliksik at pag-unlad o maliit na batch mass production.