Ang mga kagamitan sa paglilinis ng vacuum plasma ay gumagamit ng pinagsama-samang istraktura, nilagyan ng RF ion cleaning system, ganap na awtomatikong kontrol, maginhawang operasyon at pagpapanatili.
Ang RF high-frequency generator ay maaaring makabuo ng high-density na plasma, mag-activate, mag-ukit at mag-ash sa ibabaw ng workpiece, epektibong alisin ang alikabok at grasa sa ibabaw ng produkto, palabasin ang stress sa ibabaw, at makakuha ng iba't ibang mga pagbabago sa ibabaw ng workpiece.
Naaangkop ito sa goma, salamin, ceramic, metal at iba pang mga produkto, at inilalapat sa microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, semiconductor packaging, mga medikal na kagamitan, mga eksperimento sa life science at iba pang larangan.