Ekipman, elektron ışını buharlaştırma teknolojisini benimser.Elektronlar katot filamentinden yayılır ve katot ile pota arasındaki kaplama malzemesini eritme ve buharlaştırma potansiyeli tarafından hızlandırılan belirli bir ışın akımına odaklanır.Yüksek enerji yoğunluğu özelliklerine sahiptir ve kaplama malzemesini 3000 ℃'den fazla bir erime noktası ile buharlaştırabilir.Film, yüksek saflığa ve yüksek termal verimliliğe sahiptir.
Ekipman, elektron ışını buharlaşma kaynağı, iyon kaynağı, film kalınlığı izleme sistemi, film kalınlığı düzeltme yapısı ve sabit şemsiye iş parçası döndürme sistemi ile donatılmıştır.İyon kaynağı destekli kaplama sayesinde, filmin kompaktlığı artırılır, kırılma indeksi dengelenir ve neme bağlı dalga boyu kayması olgusu önlenir.Tam otomatik film kalınlığı gerçek zamanlı izleme sistemi, sürecin tekrarlanabilirliğini ve kararlılığını sağlayabilir.Operatörün becerilerine bağımlılığı azaltmak için kendi kendine erime işlevi ile donatılmıştır.
Ekipman, çeşitli oksitlere ve metal kaplama malzemelerine uygulanabilir ve AR filmi, uzun dalga geçişi, kısa dalga geçişi, parlatıcı film, AS / AF filmi, IRCUT, renkli film sistemi gibi çok katmanlı hassas optik filmler ile kaplanabilir. , gradyan film sistemi vb. AR gözlüklerinde, optik lenslerde, kameralarda, optik lenslerde, filtrelerde, yarı iletken endüstrilerinde vb.