HFCVD0606

Kimyasal buhar biriktirme ekipmanının vakumlu kaplama odası, soğutmada verimli ve tekdüze olan ve güvenli ve kararlı bir yapıya sahip olan bağımsız bir çift katmanlı su soğutma yapısını benimser.Ekipman, kızılötesi sıcaklık ölçümü, spektral analiz, video izleme ve termokupl gibi yardımcı çevre birimlerinin harici bağlantısı için uygun olan çift kapılı, çoklu gözlem pencereleri ve çoklu genişletme arayüzleri ile tasarlanmıştır.Gelişmiş tasarım konsepti, ekipmanın günlük revizyonunu ve bakımını, konfigürasyon değişikliğini ve yükseltmesini kolay ve basit hale getirir ve kullanım ve yükseltme maliyetlerini etkili bir şekilde azaltır.

Ekipman özellikleri:

1. Ekipmanın şişirme bileşenleri, esas olarak, proses gaz akışının doğru kontrolünü, düzgün karışımı ve farklı gazların güvenli izolasyonunu sağlayan ve kullanım için gaz sistemi bileşenlerini seçebilen kütle akış ölçer, solenoid valf ve gaz karıştırma tankını içerir. likit gaz kaynağı, çok çeşitli sıvı karbon kaynaklarının kişiselleştirilmiş seçimini ve sentetik iletken elmas ve elektrot sıvı bor kaynaklarının güvenli kullanımını kolaylaştırır.
2. Hava tahliye düzeneği, sessiz ve verimli bir döner kanatlı vakum pompası ve yüksek vakumlu arka plan ortamını hızlı bir şekilde karşılayabilen bir turbo moleküler pompa sistemi ile donatılmıştır.Direnç göstergesi ve iyonizasyon göstergesi ile kompozit vakum ölçer, vakum ölçümü için ve farklı proses gazlarının basıncını geniş bir aralıkta ölçebilen kapasitif film ölçer sistemi için kullanılır.Biriktirme basıncı, yüksek hassasiyetli oransal kontrol valfi tarafından tamamen otomatik olarak kontrol edilir.
3. Soğutma suyu bileşeni, çok kanallı su basıncı, akış, sıcaklık ölçümü ve yazılım otomatik izleme ile donatılmıştır.Farklı soğutma bileşenleri, hızlı arıza teşhisi için uygun olan, birbirinden bağımsızdır.Tüm dallarda, güvenli ve verimli olan bağımsız valf şalterleri bulunur.
4. Elektrik kontrol bileşenleri, büyük boyutlu insan-makine arayüzü LCD ekranını benimser ve proses formülünün düzenlenmesini ve içe aktarılmasını kolaylaştırmak için PLC tam otomatik kontrol ile işbirliği yapar.Grafik eğri, çeşitli parametrelerin değişikliklerini ve değerlerini görsel olarak gösterir ve problem izlemeyi ve veri istatistiksel analizini kolaylaştırmak için ekipman ve proses parametreleri otomatik olarak kaydedilir ve arşivlenir.
5. İş parçası rafı, alt tabaka tablasının kaldırılmasını ve indirilmesini kontrol etmek için bir servo motorla donatılmıştır.Grafit veya kırmızı bakır alt tabaka tablosu seçilebilir.Sıcaklık bir termokupl ile ölçülür.
6. Raf bileşenleri, müşterilerin özel taşıma gereksinimlerini karşılamak için müşteri gereksinimlerine göre bir bütün olarak veya ayrı ayrı tasarlanabilir.
7. Sızdırmazlık plakası bileşenleri güzel ve zariftir.Ekipmanın farklı işlevsel modül alanlarındaki sızdırmazlık plakaları, hızlı bir şekilde demonte edilebilir veya bağımsız olarak açılıp kapatılabilir, bu da kullanımı çok uygundur.

Sıcak filamanlı CVD ekipmanı, ince film kaplama, kendi kendini destekleyen kalın film, mikrokristal ve nanokristal elmas, iletken elmas vb. dahil olmak üzere elmas malzemelerin biriktirilmesi için uygundur. Esas olarak sinterlenmiş karbür kesme aletlerinin, yarı iletken malzemelerin aşınmaya dayanıklı koruyucu kaplaması için kullanılır silisyum ve silisyum karbür, cihazların ısı dağıtma kaplaması, bor katkılı iletken elmas elektrot, elektrolitik suyun ozon dezenfeksiyonu veya kanalizasyon arıtma gibi.