Ekipman, magnetron püskürtme ve dirençli buharlaştırma teknolojisini entegre eder ve çeşitli farklı alt tabakaların kaplanması için bir çözüm sunar.
Deneysel kaplama ekipmanı, esas olarak üniversitelerde ve bilimsel araştırma kurumlarında kullanılır ve çeşitli deneysel gereksinimleri karşılayabilir.Farklı alanlardaki bilimsel araştırma ve geliştirmeyi karşılamak üzere esnek bir şekilde yapılandırılabilen ekipman için çeşitli yapısal hedefler ayrılmıştır.Magnetron püskürtme sistemi, katot ark sistemi, elektron ışını buharlaştırma sistemi, dirençli buharlaştırma sistemi, CVD, PECVD, iyon kaynağı, öngerilim sistemi, ısıtma sistemi, üç boyutlu fikstür vb. seçilebilir.Müşteriler farklı ihtiyaçlarına göre seçim yapabilir.
Ekipman, güzel görünüm, kompakt yapı, küçük zemin alanı, yüksek derecede otomasyon, basit ve esnek çalışma, istikrarlı performans ve kolay bakım özelliklerine sahiptir.
Ekipman plastik, paslanmaz çelik, elektroliz donanım / plastik parçalar, cam, seramik ve diğer malzemelere uygulanabilir.Titanyum, krom, gümüş, bakır, alüminyum gibi basit metal tabakalar veya TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC gibi metal kompound filmler hazırlanabilir.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*Y600(mm) | φ600*Y800(mm) | φ800*Y1000(mm) |