1) Silindirik hedefler, düzlemsel hedeflere göre daha yüksek kullanım oranına sahiptir.Kaplama işleminde, ister döner bir manyetik tip ister bir döner boru tipi silindirik püskürtme hedefi olsun, hedef tüpün yüzeyinin tüm parçaları katot püskürtmeyi almak için kalıcı mıknatısın önünde oluşturulan püskürtme alanından sürekli olarak geçer ve hedef düzgün bir şekilde püskürtülerek kazınmış olabilir ve hedef kullanım oranı yüksektir.Hedef malzemelerin kullanım oranı yaklaşık %80~%90'dır.
2) Silindirik hedeflerin "hedef zehirlenmesi" oluşturması kolay olmayacaktır.Kaplama işlemi sırasında, hedef tüpün yüzeyi her zaman iyonlar tarafından püskürtülür ve aşındırılır ve yüzeyde kalın oksitler ve diğer yalıtkan filmler biriktirmek kolay değildir ve "hedef zehirlenmesi" üretmek kolay değildir.
3) Döner hedef tüp tipi silindirik püskürtme hedefinin yapısı basit ve kurulumu kolaydır.
4) Silindirik hedef tüp malzemesinin çeşitli türleri vardır.metal hedef ile düzlemsel hedef doğrudan su soğutma ve bazıları işlenemez ve In2-SnO2 hedefi gibi silindirik hedefler oluşturulamaz, çünkü boyut yapılamadığından plaka benzeri hedefler elde etmek için sıcak izostatik presleme için toz malzeme ile büyük ve kırılgan, bu nedenle entegre etmek ve ardından hedef tabana takmak için lehimleme yöntemi ve bakır arka plaka kullanmak gerekir.Metal borulara ek olarak, paslanmaz çelik boruların yüzeyine Si, Cr vb. kaplanması gereken çeşitli malzemelerle sütunlu hedefler de püskürtülebilir.
Şu anda, endüstriyel üretimde kaplama için silindirik hedeflerin oranı artıyor.Silindirik hedefler sadece dikey kaplama makinesi için değil aynı zamanda rulodan ruloya kaplama makinesinde de kullanılır.Son yıllarda, düzlemsel ikiz hedefler yavaş yavaş Silindirik ikiz hedefler ile değiştirilmektedir.
——Bu makale, Guangdong Zhenhua Technology tarafından yayınlandı.optik kaplama makineleri üreticisi.
Gönderim zamanı: 11 Mayıs-2023