Hepimizin bildiği gibi yarı iletken tanımı, kuru iletkenler ile yalıtkanlar arasında bir iletkenliğe sahip olması, metal ile yalıtkanlar arasında genellikle oda sıcaklığında olan özdirencinin 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm aralığında olmasıdır. Büyük yarı iletken şirketlerinde vakumlu yarı iletken kaplama, özellikle manyetoelektrik dönüştürme cihazlarına, ışık yayan cihazlara ve diğer geliştirme çalışmalarına yönelik bazı büyük ölçekli entegre sistem devre geliştirme teknolojisi araştırma yöntemlerinde statüsünün giderek daha yüksek olduğu açıktır.Vakum yarı iletken kaplama önemli bir role sahiptir.
Yarı iletkenler, içsel özellikleri, sıcaklıkları ve safsızlık konsantrasyonları ile karakterize edilir.Vakumlu yarı iletken kaplama malzemeleri, temel olarak bileşen bileşikleri ile birbirinden ayrılır.Kabaca tümü bor, karbon, silikon, germanyum, arsenik, antimon, tellür, iyot vb. ve nispeten az sayıda GaP, GaAs, lnSb, vb. tabanlıdır. FeO, Fe₂O₃ gibi bazı oksit yarı iletkenler de vardır. MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, vb.
Vakumlu buharlaştırma, püskürtme kaplama, iyon kaplama ve diğer ekipmanlar vakumlu yarı iletken kaplama yapabilir.Bu kaplama ekipmanlarının hepsi çalışma prensibinde farklıdır, ancak hepsi yarı iletken malzeme kaplama malzemesini alt tabaka üzerinde biriktirir ve alt tabakanın malzemesi olarak yarı iletken olabilir veya olmayabilir.Ayrıca, farklı elektriksel ve optik özelliklere sahip kaplamalar, bir aralıktaki yarı iletken substratın yüzeyine hem safsızlık difüzyonu hem de iyon implantasyonu ile hazırlanabilir.Ortaya çıkan ince tabaka, genel olarak bir yarı iletken kaplama olarak da işlenebilir.
Vakumlu yarı iletken kaplama, aktif veya pasif cihazlar için elektronikte vazgeçilmez bir varlıktır.Vakumlu yarı iletken kaplama teknolojisinin sürekli gelişmesiyle, film performansının hassas kontrolü mümkün hale geldi.
Son yıllarda, amorf kaplama ve polikristal kaplama, foto iletken cihazların, kaplanmış alan etkili tüplerin ve yüksek verimli güneş pillerinin imalatında hızlı ilerleme kaydetmiştir.Ek olarak, vakumlu yarı iletken kaplamanın ve sensörlerin ince filminin geliştirilmesi sayesinde, malzeme seçimi zorluğunu önemli ölçüde azaltır ve üretim sürecini kademeli olarak basitleştirir.Vakumlu yarı iletken kaplama ekipmanı, yarı iletken uygulamaları için gerekli bir mevcudiyet haline gelmiştir.Ekipman, kamera cihazlarının, güneş pillerinin, kaplamalı transistörlerin, alan emisyonunun, katot ışığının, elektron emisyonunun, ince film algılama elemanlarının vb. yarı iletken kaplaması için yaygın olarak kullanılmaktadır.
Magnetron püskürtmeli kaplama hattı, tam otomatik bir kontrol sistemi, kullanışlı ve sezgisel bir dokunmatik ekranlı insan-makine arayüzü ile tasarlanmıştır.Hat, tüm üretim hattı bileşenleri, proses parametresi ayarı, çalışma koruması ve alarm fonksiyonları için çalışma durumunun tam olarak izlenmesini sağlamak için eksiksiz bir fonksiyon menüsü ile tasarlanmıştır.Tüm elektrik kontrol sistemi güvenli, güvenilir ve kararlıdır.Üst ve alt çift taraflı magnetron püskürtme hedefi veya tek taraflı kaplama sistemi ile donatılmıştır.
Ekipman esas olarak seramik devre kartlarına, çip yüksek voltajlı kapasitörlere ve diğer alt tabaka kaplamaya uygulanır, ana uygulama alanları elektronik devre kartlarıdır.
Gönderim zamanı: Kasım-07-2022