1. Buharlaşma hızı, buharlaşan kaplamanın özelliklerini etkiler
Buharlaşma oranı, biriken film üzerinde büyük bir etkiye sahiptir.Düşük biriktirme oranıyla oluşturulan kaplama yapısı gevşek olduğundan ve büyük parçacık biriktirmesi kolay olduğundan, kaplama yapısının kompaktlığını sağlamak için daha yüksek bir buharlaşma oranı seçmek çok güvenlidir.Vakum odasındaki artık gazın basıncı sabit olduğunda, alt tabakanın bombardıman oranı sabit bir değerdir.Bu nedenle, daha yüksek bir biriktirme oranı seçildikten sonra biriktirilen filmde bulunan artık gaz azaltılacak, böylece artık gaz molekülleri ile buharlaştırılmış film parçacıkları arasındaki kimyasal reaksiyon azaltılacaktır.Bu nedenle, bırakılan filmin saflığı iyileştirilebilir.Biriktirme hızının çok hızlı olması durumunda filmin iç gerilimini artırabileceği, filmdeki kusurları artıracağı ve hatta filmin yırtılmasına yol açabileceği unutulmamalıdır.Özellikle, reaktif buharlaştırma kaplama işleminde, reaksiyon gazının buharlaşma filmi malzemesinin parçacıkları ile tamamen reaksiyona girmesini sağlamak için daha düşük bir biriktirme hızı seçebilirsiniz.Tabii ki, farklı malzemeler farklı buharlaşma oranlarını seçer.Pratik bir örnek olarak - yansıtıcı filmin biriktirilmesi, Eğer film kalınlığı 600×10-8cm ise ve buharlaşma süresi 3s ise, yansıtıcılık %93'tür.Ancak aynı kalınlık koşulu altında buharlaşma hızı yavaşlatılırsa film kaplamanın tamamlanması 10 dakika sürer.Bu sırada film kalınlığı aynıdır.Ancak yansıtma oranı %68'e düştü.
2. Subtrat sıcaklığı buharlaşma kaplamasını etkileyecektir.
Substrat sıcaklığının buharlaşma kaplaması üzerinde büyük etkisi vardır.Yüksek substrat sıcaklığında substrat yüzeyinde adsorbe edilen artık gaz moleküllerinin çıkarılması kolaydır.Özellikle su buharı moleküllerinin yok edilmesi daha önemlidir.Ayrıca, daha yüksek sıcaklıklarda, fiziksel adsorpsiyondan kimyasal adsorpsiyona dönüşümü teşvik etmek ve böylece partiküller arasındaki bağlanma kuvvetini artırmak sadece kolay değildir.Ayrıca, buhar moleküllerinin yeniden kristalleşme sıcaklığı ile substrat sıcaklığı arasındaki farkı da azaltabilir, böylece film bazlı arayüz üzerindeki iç gerilimi azaltabilir veya ortadan kaldırabilir.Ek olarak, alt tabaka sıcaklığı filmin kristal durumuyla ilişkili olduğu için, düşük alt tabaka sıcaklığı veya ısıtmasız koşullar altında amorf veya mikro kristalli kaplamalar oluşturmak genellikle kolaydır.Aksine, sıcaklık yüksek olduğunda kristal kaplama oluşturmak kolaydır.Substrat sıcaklığının arttırılması, kaplamanın mekanik özelliklerinin iyileştirilmesine de yardımcı olur.Tabii ki, kaplamanın buharlaşmasını önlemek için yüzey sıcaklığı çok yüksek olmamalıdır.
3. Vakum odasındaki artık gaz basıncı film özelliklerini etkileyecektir.
Vakum odasındaki artık gazın basıncı, membranın performansı üzerinde büyük bir etkiye sahiptir.Çok yüksek basınca sahip artık gaz moleküllerinin, alt tabaka üzerindeki insanların kinetik enerjisini azaltacak ve filmin yapışmasını etkileyecek olan buharlaşan parçacıklarla çarpışması kolay değildir.Ayrıca çok yüksek artık gaz basıncı, filmin saflığını ciddi şekilde etkileyecek ve kaplamanın performansını düşürecektir.
4. Buharlaşma kaplamasında buharlaşma sıcaklığı etkisi
Buharlaşma sıcaklığının membran performansı üzerindeki etkisi, buharlaşma hızının sıcaklıkla değişimi ile gösterilir.Buharlaşma sıcaklığı yüksek olduğunda, buharlaşma ısısı azalır.Membran malzemesi buharlaşma sıcaklığının üzerinde buharlaştırılırsa, sıcaklıktaki küçük bir değişiklik bile membran malzemesinin buharlaşma hızında keskin bir değişikliğe neden olabilir.Bu nedenle, buharlaşma kaynağı ısıtıldığında büyük sıcaklık gradyanından kaçınmak için filmin biriktirilmesi sırasında buharlaşma sıcaklığının doğru bir şekilde kontrol edilmesi çok önemlidir.Süblimleşmesi kolay film malzemesi için, buharlaşma ve diğer önlemler için ısıtıcı olarak malzemenin kendisinin seçilmesi de çok önemlidir.
5. Substratın ve kaplama odasının temizlik durumu, kaplama performansını etkileyecektir.
Substratın ve kaplama odasının temizliğinin kaplama performansı üzerindeki etkisi göz ardı edilemez.Sadece biriktirilen filmin saflığını ciddi şekilde etkilemeyecek, aynı zamanda filmin yapışmasını da azaltacaktır.Bu nedenle, alt tabakanın saflaştırılması, vakumlu kaplama odasının ve ilgili bileşenlerinin (alt tabaka çerçevesi gibi) temizleme işlemi ve yüzey gazının giderilmesi, vakumlu kaplama işleminde vazgeçilmez işlemlerdir.
Gönderim zamanı: 28 Şubat 2023