1. Termal CVD teknolojisi
Sert kaplamalar çoğunlukla metal seramik kaplamalardır (TiN vb.), kaplamadaki metalin reaksiyona girmesi ve reaktif gazlaşması ile oluşur.İlk başta, termal CVD teknolojisi, 1000 ℃ yüksek sıcaklıkta termal enerji ile kombinasyon reaksiyonunun aktivasyon enerjisini sağlamak için kullanıldı.Bu sıcaklık yalnızca sinterlenmiş karbür takımlar üzerine TiN ve diğer sert kaplamaların uygulanması için uygundur.Şimdiye kadar, sinterlenmiş karbür takım kafalarında TiN-Al20 kompozit kaplamaların biriktirilmesi hala önemli bir teknolojidir.
2. İçi boş katot iyon kaplama ve sıcak tel ark iyon kaplama
1980'lerde, içi boş katot iyon kaplama ve sıcak tel ark iyon kaplama, kaplamalı kesme aletlerini biriktirmek için kullanıldı.Bu iyon kaplama teknolojilerinin her ikisi de %20~%40'a kadar metal iyonlaşma oranıyla ark deşarjlı iyon kaplama teknolojileridir.
3. Katot ark iyon kaplaması
Katodik ark iyon kaplamanın ortaya çıkışı, kalıplar üzerinde sert kaplamalar biriktirme teknolojisinin gelişmesine yol açmıştır.Katodik ark iyon kaplamanın iyonlaşma oranı %60~%90'dır, bu da çok sayıda metal iyonunun ve reaksiyon gazı iyonlarının iş parçasının yüzeyine ulaşmasına ve yine de yüksek aktiviteyi korumasına izin vererek reaksiyon çökelmesine ve aşağıdakiler gibi sert kaplamaların oluşmasına neden olur: Teneke.Şu anda, katodik ark iyon kaplama teknolojisi esas olarak kalıplar üzerinde sert kaplamalar biriktirmek için kullanılmaktadır.
Katot ark kaynağı, sabit bir eriyik havuzu olmayan katı hal buharlaştırma kaynağıdır ve ark kaynağı konumu, kaplama odasının alan kullanım oranını iyileştirerek ve fırın yükleme kapasitesini artırarak keyfi olarak yerleştirilebilir.Katot ark kaynaklarının şekilleri arasında küçük dairesel katot ark kaynakları, sütunlu ark kaynakları ve dikdörtgen düz büyük ark kaynakları bulunur.Küçük ark kaynaklarının, sütunlu ark kaynaklarının ve büyük ark kaynaklarının farklı bileşenleri, çok katmanlı filmleri ve nano çok katmanlı filmleri biriktirmek için ayrı ayrı düzenlenebilir.Bu arada, katodik ark iyon kaplamanın yüksek metal iyonlaşma oranı nedeniyle, metal iyonları daha fazla reaksiyon gazı emebilir, bu da mükemmel sert kaplamalar elde etmek için geniş bir işlem aralığı ve basit çalışma ile sonuçlanır.Ancak katodik ark iyon kaplama ile elde edilen kaplama tabakasının mikro yapısında iri damlacıklar bulunmaktadır.Son yıllarda, ark iyon kaplama filminin kalitesini iyileştiren film tabakasının yapısını iyileştirmek için birçok yeni teknoloji ortaya çıktı.
——Bu makale, Guangdong Zhenhua Technology tarafından yayınlandı.optik kaplama makineleri üreticisi.
Gönderim zamanı: 28 Nisan 2023