İçi boş katot iyon kaplama işlemi

İçi boş katot iyon kaplama işlemi aşağıdaki gibidir:

1、Çene külçelerini çökmeye koyun.

2、İş parçasının montajı.

3、5×10-3Pa'ya tahliye edildikten sonra, gümüş tüpten kaplama odasına argon gazı verilir ve vakum seviyesi 100Pa civarındadır.

4、önyargı gücünü açın.

5、Içi boş katot deşarjını tutuşturmak için ark gücünü açtıktan sonra. Kızdırma deşarjı düğme tüpünde üretilir, Deşarj voltajı 800~1000V'dir, ark yükseltme akımı 30~50A'dır. Kızdırmanın içi boş katot etkisi nedeniyle deşarj, Yüksek kızdırma deşarj akımı yoğunluğu, Gümüş tüpteki yüksek rasyon iyon yoğunluğu, gözetleme tüpünün duvarını bombalar, Tüp duvarını elektron akışının emisyonuna kadar hızla ısıtın, kızdırma deşarjından deşarj modu ani değişim ark deşarjı, Voltaj 40~70V, Akım 80~300A'dır. Gümüş tüp sıcaklığı 2300K'nın üzerine çıkar, Akkor, Tüpten yüksek yoğunluklu ark elektronları akışı yayar ve anoda fırlatılır.

6、Vakum seviyesinin ayarlanması. İçi boş katod tabancasından akkor deşarj için vakum seviyesi yaklaşık 100 Pa'dır ve kaplamanın vakum derecesi 8×10-1~2Pa'dır. Bu nedenle, ark deşarjının ateşlenmesinden sonra, gelen argonu azaltın Mümkün olan en kısa sürede gaz verin, vakum seviyesini kaplamaya uygun bir aralığa ayarlayın.

7、Titanyum kaplı taban katmanı. Anodik olarak çökmüş Çene metal külçe üzerine elektron akışı,Kinetik enerjinin termal enerjiye dönüştürülmesi,Çe metalinin ısıtılarak buharlaşması,Buhar atomları iş parçasına ulaşarak bir titanyum film oluşturur.

8、TiN biriktirme.Nitrojen gazı kaplama odasına verilir,Nitrojen gazı ve buharlaşan atomlar nitrojen ve titanyum iyonlarına iyonize edilir.Potanın üzerinde,Düşük enerjili elektronların yoğun akışlarıyla titanyum buhar atomlarının elastik olmayan çarpışma olasılığı daha yüksektir, Metal ayrışma oranı %20~%40 kadar yüksektir. Titanyum iyonlarının reaksiyon gazı nitrojen ile kimyasal olarak reaksiyona girme olasılığı daha yüksektir. Kaplama sırasında, Pota etrafındaki elektromanyetik bobinin akımı da ayarlanmalıdır, Elektron ışınını çökmenin merkezine odaklayın, Böylece elektron akışının güç yoğunluğu artar.

9、Gücü Kapatın.Film kalınlığı önceden belirlenmiş film kalınlığına ulaştıktan sonra, ark güç kaynağını, Bias güç kaynağını ve hava beslemesini kapatın.