buvakumlu kaplama ekipmanlarıkaynak, taşlama, tornalama, planyalama, delme, frezeleme vb. birçok işlemle yapılan birçok hassas parçadan oluşur.Bu çalışmalardan dolayı ekipman parçalarının yüzeyi ister istemez gres, yağ kiri, metal talaşı, kaynak pastası, polisaj pastası, ter izi vb. bazı kirleticilerle kirlenecektir.Bu kirleticilerin vakum koşulları altında uçması kolaydır, bu nedenle ekipmanın nihai vakumunu etkiler.
Ek olarak, mekanik işlemeden kaynaklanan bu vakumlu kirleticiler, atmosferik basınç ortamında büyük miktarda gaz emer ve vakum durumunda, daha önce adsorbe edilen bu gazlar da tekrar salınır ve limit vakumu sınırlayan önemli bir faktör haline gelir.Bu nedenle vakumlu kaplama makinesinin parçaları monte edilmeden önce kirleticilerin ortamdan uzaklaştırılması gerekmektedir.
Vakum ekipmanının kullanımı sırasında bileşenleri de kirlenecektir.Ancak bu kaynaktan kaynaklanan kirlilik esas olarak kullanım koşullarından ve vakum pompasından kaynaklanmaktadır.
1. Vakum göstergesinin filamanının yüksek sıcaklık koşullarında buharlaşması, seramik yalıtkan üzerinde bir film oluşmasına yol açacaktır, bu da yalıtım mukavemetine bir dereceye kadar zarar verecek ve aynı zamanda doğruluğu üzerinde belirli bir etkiye sahip olacaktır. ölçüm;
2. Yüksek sıcaklıkta buharlaşma nedeniyle, vakumda elektron tabancasının filamanına yakın yüzeyde metal bir film oluşacaktır;
3. İş parçasının sıçraması nedeniyle, iyon ışını aşındırma ekipmanının iç duvarı sıçramalarla kirlenecektir;
4. Vakumlu buharlaştırma kaplama ekipmanının iç duvarı, buharlaştırma hedef malzemesi tarafından kirlenecektir;
5. Vakumlu kurutma sistemi sıklıkla kullanılır ve sistem buharlaşan maddelerle kirlenir;
6. Vakum kaplama ekipmanındaki difüzyon pompası yağı ve mekanik pompa yağı da önemli bir kirlilik kaynağıdır.Kaplama makinesi uzun süre çalıştıktan sonra, ekipmanın içinde bir yağ filmi oluşabilir.
Özetlemek gerekirse, ekipmanın vakumla sanitasyonu, vakum ekipmanı, vakum sistemi, vakum prosesi üretimi ve diğer yönler ve bağlantıların yanı sıra vakumlu kaplama ekipmanının kendisinin gerekliliklerini ve kullanım koşullarında özel vakum prosesini içerir.Bu nedenle vakum kirliliği dikkat edilmesi gereken bir sorundur çünkü bu kirlilikler ekipmanın performansını etkileyeceğinden düzenli veya her zaman temizliğe dikkat edilmelidir.
Gönderim zamanı: 21 Şubat 2023