Ekipman, hızlı biriktirme hızı ve yüksek film kalitesi özelliklerine sahip oksit filmi hazırlamak için esas olarak kimyasal buhar biriktirmeyi benimser.Ekipman yapısına gelince, sıkıştırma verimliliğini artırmak için çift kapı yapısı kullanılır ve kararlı ve kontrol edilebilir akış sağlamak ve proses kararlılığını etkin bir şekilde sağlamak için en son sıvı gaz besleme sistemi benimsenir.Ekipman tarafından hazırlanan film, iyi bir su buharı bariyerine ve kaynama testinde daha uzun kararlılık süresine sahiptir.
Ekipman, paslanmaz çelik, elektroliz donanım / plastik parçalar, cam, seramik ve elektronik ürünler, LED ışık boncukları, tıbbi malzemeler ve oksidasyon direncine ihtiyaç duyan diğer ürünler gibi diğer malzemelere uygulanabilir.SiOx bariyer filmi esas olarak su buharını etkili bir şekilde bloke etmek, korozyon ve oksidasyonu önlemek ve ürün ömrünü iyileştirmek için hazırlanır.
Opsiyonel modeller | iç hazne boyutu |
ZHCVD1200 | φ1200*Y1950(mm) |