RCW600

Bu ekipman serisi, kaplama malzemelerini, ince filmler oluşturmak üzere alt tabakaların yüzeyinde biriken nanometre boyutlu parçacıklara dönüştürmek için magnetron hedefleri kullanır.Haddelenmiş film, vakum odasına yerleştirilir.Elektrikle çalışan sarım yapısı sayesinde bir ucu filmi alır diğer ucu filmi koyar.Hedef bölgeden geçmeye devam eder ve yoğun bir film oluşturmak için hedef parçacıkları alır.
karakteristik:

1. Düşük sıcaklıkta film oluşturma.Sıcaklığın film üzerinde çok az etkisi vardır ve deformasyona neden olmaz.PET, PI ve diğer ana malzeme bobin filmleri için uygundur.
2. Film kalınlığı tasarlanabilir.İnce veya kalın kaplamalar, proses ayarlaması ile tasarlanabilir ve biriktirilebilir.
3. Çoklu hedef konum tasarımı, esnek süreç.Tüm makine, basit metal hedefler veya bileşik ve oksit hedefler olarak kullanılabilen sekiz hedefle donatılabilir.Tek yapılı tek katmanlı filmler veya kompozit yapılı çok katmanlı filmler hazırlamak için kullanılabilir.Süreç çok esnektir.

Ekipman elektromanyetik koruyucu film, esnek devre kartı kaplaması, çeşitli dielektrik filmler, çok katmanlı AR yansıma önleyici film, HR yüksek yansıma önleyici film, renkli film vb. hazırlayabilir. ekipmanın çok geniş bir uygulama yelpazesi vardır ve tek katmanlı film biriktirme tek seferlik film biriktirme ile tamamlanabilir.
Ekipman, Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl vb. gibi basit metal hedefleri veya SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, vb. gibi bileşik hedefleri benimseyebilir.

Ekipmanın boyutu küçüktür, kompakt yapı tasarımına sahiptir, zemin alanı küçüktür, enerji tüketimi düşüktür ve ayarlamada esnektir.Proses araştırma ve geliştirme veya küçük seri seri üretim için çok uygundur.