Film Яхшы калынлык һәм кино калынлыгын кабатлау
Фильм калынлыгын алдан билгеләнгән бәядә контрольдә тотып буламы, кино калынлыгын контрольдә тоту дип атала.Кирәкле фильм калынлыгы күп тапкыр кабатланырга мөмкин, бу кино калынлыгын кабатлау дип атала.Шуңа күрә, чәчелгән пленканың калынлыгы контрольдә тотыла, һәм алдан билгеләнгән калынлыктагы фильм ышанычлы урнаштырыла ала.Моннан тыш, чүпрәк каплавы зур өслектә бердәм калынлыктагы фильм ала ала.
Film Фильм белән субстрат арасында нык ябышу
Бөтерелгән атомнарның энергиясе парга әйләнгән атомнарныкыннан 1-2 зурлык зурлыгы.Субстратка салынган югары энергияле чәчелгән атомнарның энергия конверсиясе парга әйләнгән атомнарныкыннан күпкә югарырак, бу югары җылылык тудыра һәм чәчелгән атомнар белән субстрат арасындагы ябышуны көчәйтә.Моннан тыш, кайбер югары энергияле чәчелгән атомнар төрле дәрәҗәдәге инъекция ясыйлар, субстратта псевдодифузия катламы ясыйлар.Моннан тыш, фильм формалаштыру процессында субстрат һәрвакыт чистартыла һәм активлаштырыла, бу атомны зәгыйфь ябышу белән бетерә, субстрат өслеген чистарта һәм активлаштыра.Шуңа күрә, бөтерелгән фильм субстратка нык ябыша.
Target Максаттан аерылып торган яңа материал фильмы әзерләнергә мөмкин
Әгәр дә реактив газ, максат белән реакция ясар өчен, чәчелгән вакытта кертелсә, максаттан бөтенләй башка яңа материал пленкасы алырга мөмкин.Мәсәлән, кремний чәчү максаты буларак кулланыла, һәм кислород һәм аргон вакуум камерасына бергә кертелә.Чәчкәннән соң, SiOz изоляцион фильм алырга мөмкин.Титанны чәчү максаты итеп кулланып, азот һәм аргон вакуум камерасына кертелә, һәм TiN алтын сыман фазаны чәчкәннән соң алырга мөмкин.
Film filmгары чисталык һәм кино сыйфаты
Фильм әзерләү җайланмасында мөһим компонент булмаганлыктан, җылыткыч материалның компонентлары чәчелгән кино катламында катнашмаячак.Чүпрәле каплауның җитешсезлекләре шунда: фильм формалаштыру тизлеге парга әйләнү белән чагыштырганда әкренрәк, субстрат температурасы югарырак, пычрак газ тәэсир итү җиңел, һәм җайланма структурасы катлаулырак.
Бу мәкалә җитештерүче Гуандун Чжэнхуа тарафыннан бастырылганвакуум каплау җиһазлары
Пост вакыты: март-09-2023