1. Эш кисәге түбән
Ионлаштыру тизлеген арттыру өчен җайланма кушылу аркасында, агымның тыгызлыгы арта, һәм көчәнеш көчәнеше 0,5 ~ 1кВка кадәр кими.
Energyгары энергияле ионнарны артык бомбардировать итү аркасында килеп чыккан артта калу һәм эш кисәгенә зыян китерү кими.
2. Плазма тыгызлыгын арттыру
Бәрелешне ионлаштыруга ярдәм итү өчен төрле чаралар өстәлде, һәм металл ионлаштыру дәрәҗәсе 3% тан 15% тан артты.Иң ионнары һәм югары энергияле нейтраль атомнар, азот ионнары, югары энергияле актив атомнар һәм каплау камерасындагы актив төркемнәр тыгызлыгы арта, бу кушылмалар барлыкка килү реакциясенә ярдәм итә.Aboveгарыда күрсәтелгән төрле көчәйтелгән ялтырату агымы ион каплау технологияләре ТН каты пленка катламнарын югары плазма тыгызлыгында реакция чүплеге белән ала алды, ләкин алар ялтыравык агызу төренә кергәнлектән, агымның тыгызлыгы җитәрлек дәрәҗәдә югары түгел (һаман да mA / cm2 дәрәҗәсе ), һәм плазманың гомуми тыгызлыгы җитәрлек дәрәҗәдә югары түгел, һәм реакция чүпләү кушылмасы каплау процессы авыр.
3. Нокта парга әйләнү чыганагының каплау диапазоны кечкенә
Төрле көчәйтелгән ион каплау технологияләре электрон нур парга әйләнү чыганакларын кулланалар, һәм ганту нокта парга әйләнү чыганагы буларак кулланалар, бу реакция чүпләү өчен ганту өстендә билгеле бер интервал белән чикләнә, шуңа күрә җитештерүчәнлек түбән, процесс авыр, һәм индустриальләштерү авыр.
4. Электрон мылтык югары басымлы эш
Электрон мылтык көчәнеше 6 ~ 30кВ, һәм эш кисәгенең көчәнеш көчәнеше 0,5 ~ 3кВ, ул югары көчәнешле операциягә керә һәм куркынычсызлык өчен билгеле.
—— Бу мәкалә Гуандун Чжэнхуа Технологиясе тарафыннан чыгарылды, аоптик каплау машиналары җитештерүче.
Пост вакыты: 12-2023 май