Барыбызга да билгеле булганча, ярымүткәргечнең төшенчәсе - аның коры үткәргечләр һәм изоляторлар арасында үткәрүчәнлеге, металл һәм изолятор арасында каршылыгы, гадәттә бүлмә температурасында 1мΩ-см ~ 1ГΩ-см диапазонында. Соңгы елларда, Зур ярымүткәргеч компанияләрдә вакуум ярымүткәргеч каплау, аның статусы көннән-көн югары булуы ачыклана, аеруча зур масштаблы интеграль система схемасын үстерү технологияләрен магнитоэлектрик конверсия җайланмаларына, яктылык җибәрүче җайланмаларга һәм башка үсеш эшләренә.Вакуум ярымүткәргеч каплау мөһим роль уйный.
Ярымүткәргечләр эчке характеристикалары, температура һәм пычраклык концентрациясе белән аерылып торалар.Вакуум ярымүткәргеч каплау материаллары бер-берсеннән, нигездә, аның кушылмалары белән аерылып торалар.Барысы да бор, углерод, кремний, германий, арсен, антимон, теллурий, йод һ.б. нигезендә ясалган, һәм чагыштырмача аз GaP, GaAs, lnSb һ.б .. Шулай ук кайбер оксид ярымүткәргечләр бар, мәсәлән, FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O һ.б.
Вакуум парга әйләнү, бөтерелү, ион каплау һәм башка җиһазлар вакуум ярымүткәргеч каплауны эшли ала.Бу каплау җиһазлары эш принцибында төрле, ләкин алар барысы да ярымүткәргеч материал каплау материалын субстратка урнаштыралар, һәм субстрат материалы буларак, таләп юк, ул ярымүткәргеч булырга мөмкин.Моннан тыш, төрле электр һәм оптик үзлекләре булган каплаулар пычраклык диффузиясе һәм ярымүткәргеч субстрат өслегендә ион имплантациясе белән әзерләнергә мөмкин.Нәтиҗә ясалган нечкә катлам шулай ук ярымүткәргеч каплау рәвешендә эшкәртелергә мөмкин.
Вакуум ярымүткәргеч каплау - электроникада актив яки пассив җайланмалар өчен алыштыргысыз булу.Вакуум ярымүткәргеч каплау технологиясенең өзлексез алга китүе белән кино күрсәткечләрен төгәл контрольдә тоту мөмкин булды.
Соңгы елларда аморф каплау һәм поликристалл каплау фотокондуктив җайланмалар, капланган кыр эффект трубалары һәм югары эффектив кояш күзәнәкләре җитештерүдә тиз уңышларга ирештеләр.Моннан тыш, вакуум ярымүткәргеч каплау һәм сенсорларның нечкә пленкасы үсеше аркасында, бу шулай ук материал сайлау кыенлыгын киметә һәм җитештерү процессын әкренләп гадиләштерә.Вакуум ярымүткәргеч каплау җиһазлары ярымүткәргеч кушымталары өчен кирәкле урынга әйләнде.Theиһаз камера җайланмаларының ярымүткәргеч каплавы, кояш күзәнәкләре, капланган транзисторлар, кыр эмиссиясе, катод-яктылык, электрон эмиссия, нечкә кино сизү элементлары һ.б. өчен киң кулланыла.
Магнитрон чәчкеч каплау линиясе тулысынча автоматик идарә итү системасы, уңайлы һәм интуитив сенсорлы экран кеше-машина интерфейсы белән эшләнгән.Сызык тулы функция менюсы белән эшләнгән, бөтен җитештерү линиясе компонентлары өчен эш статусын, процесс параметрларын көйләү, операцияне саклау һәм сигнализация функцияләрен тулысынча мониторинглау өчен.Бөтен электр белән идарә итү системасы куркынычсыз, ышанычлы һәм тотрыклы.Upperгары һәм аскы ике яклы магнитрон чәчү максаты яки бер яклы каплау системасы белән җиһазландырылган.
Theиһазлар, нигездә, керамик схема такталарына, чип югары көчәнешле конденсаторларга һәм башка субстрат каплауга кулланыла, төп куллану өлкәләре - электрон челтәр такталары.
Пост вакыты: Ноябрь-07-2022