Кайнар чыбык дугасы көчәйтелгән плазмалы химик пар парламенты технологиясе кайнар чыбык аркасы мылтыгын арк плазмасын чыгару өчен куллана, кыскартылган кайнар чыбык аркасы PECVD технологиясе.Бу технология кайнар чыбык аркалы мылтык ион каплау технологиясенә охшаган, ләкин аермасы шунда: кайнар чыбык аркалы мылтык ион каплавы белән алынган каты пленка металлны җылыту һәм парга әйләндерү өчен кайнар чыбык аркасы мылтыгыннан чыккан дуга якты электрон агымын куллана. критик, кайнар чыбык аркасы якты PECVD алмаз пленкаларын урнаштыру өчен кулланылган CH4 һәм H2 кебек реакция газлары белән туклана.Кайнар чыбыклы мылтыктан чыгарылган югары тыгызлыктагы дугадан чыгу токына таянып, реактив газ ионнары төрле актив кисәкчәләр алырга дулкынланалар, шул исәптән газ ионнары, атом ионнары, актив төркемнәр һ.б.
PECVD кайнар чыбык җайланмасында әле ике электромагнит кәтүк каплау бүлмәсе читендә урнаштырылган, анодка таба хәрәкәт вакытында югары тыгызлыктагы электрон агым әйләнүенә китерә, электрон агым белән реакция газы арасында бәрелешү һәм ионлашу мөмкинлеген арттыра. .Электромагнит кәтүк шулай ук дуга баганасына әйләнергә мөмкин, бөтен палатаның плазма тыгызлыгын арттыру өчен.Арка плазмасында бу актив кисәкчәләрнең тыгызлыгы югары, бриллиант фильмнарны һәм башка кино катламнарын эш өлешенә урнаштыру җиңелрәк.
—— Бу мәкалә Гуандун Чжэнхуа Технологиясе тарафыннан чыгарылды, аоптик каплау машиналары җитештерүче.
Пост вакыты: май-05-2023