1. Rылылык CVD технологиясе
Каты каплаулар күбесенчә металл керамик капламалар (TiN һ.б.), алар металлның каплаудагы реакциясе һәм реактив газлаштыру аркасында барлыкка килә.Башта җылылык CVD технологиясе 1000 of югары температурада җылылык энергиясе белән комбинация реакциясенең активлаштыру энергиясен тәэмин итү өчен кулланылды.Бу температура TiN һәм башка каты катламнарны цементланган карбид коралларына урнаштыру өчен яраклы.Әлегә TiN-Al20 композит капламаларын цементланган карбид корал башларына салу мөһим технология булып кала.
2. Буш катод ион каплавы һәм кайнар чыбык аркасы ион каплавы
1980-нче елларда капланган катод ион каплавы һәм кайнар чыбык дугасы ион капламасы капланган кисү коралларын куллану өчен кулланылды.Бу ион каплау технологияләренең икесе дә дугадан чыгару ион каплау технологияләре, металл ионлаштыру дәрәҗәсе 20% ~ 40% ка кадәр.
3. Катод дугасы ион каплавы
Катодик дуга аркасы ион каплавы барлыкка килү формаларга каты каплау технологиясен үстерүгә китерде.Катод дугасы ион каплауның ионлаштыру дәрәҗәсе 60% ~ 90% тәшкил итә, күп санлы металл ионнары һәм реакция газ ионнары эш кисәгенә барып җитәргә һәм һаман да югары активлыкны сакларга мөмкинлек бирә, нәтиҗәдә реакция чүпләнүенә һәм каты каплаулар барлыкка килүенә китерә. TiN.Хәзерге вакытта катод дугасы ион каплау технологиясе, нигездә, каты катламнарны формаларга урнаштыру өчен кулланыла.
Катод дугасы чыганагы - эретелгән бассейнсыз каты дәүләт парга әйләнү чыганагы, һәм дуга чыганагы позициясе үзбилгеләнергә мөмкин, каплау бүлмәсенең космик куллану дәрәҗәсен яхшырта һәм мичнең йөкләү сыйфатын арттыра.Катод дуга чыганакларының формаларына кечкенә түгәрәк катод дугасы чыганаклары, багана дугасы чыганаклары һәм турыпочмаклы яссы зур дуга чыганаклары керә.Кечкенә дуга чыганакларының төрле компонентлары, багана дугасы чыганаклары, зур дуга чыганаклары күп катламлы фильмнарны һәм нано күпкатлы фильмнарны урнаштыру өчен аерым урнаштырылырга мөмкин.Шул ук вакытта, катод дугасы ион каплауның югары металл ионлаштыру тизлеге аркасында, металл ионнары реакция газларын күбрәк үзләштерә ала, нәтиҗәдә киң процесс диапазоны һәм искиткеч каты каплау өчен гади эш.Ләкин, катод дугасы ион каплавы белән алынган каплау катламының микроструктурасында тупас тамчылар бар.Соңгы елларда кино катламының структурасын чистарту өчен бик күп яңа технологияләр барлыкка килде, алар арк ион каплау фильмының сыйфатын яхшырттылар.
—— Бу мәкалә Гуандун Чжэнхуа Технологиясе тарафыннан чыгарылды, аоптик каплау машиналары җитештерүче.
Пост вакыты: 28-2023 апрель