Плазманы туры полимерлаштыру процессы

Плазманы туры полимерлаштыру процессы

Плазма полимеризация процессы эчке электрод полимеризация җиһазлары өчен дә, тышкы электрод полимеризация җиһазлары өчен дә чагыштырмача гади, ләкин Плазма полимеризациясендә параметр сайлау мөһимрәк, чөнки Плазма полимеризациясе вакытында полимер фильмнар структурасына һәм эшләвенә параметрлар зуррак тәэсир итә.

Туры плазма полимеризациясе өчен операция адымнары түбәндәгечә:

(1) Вакуум

Вакуум шартларында полимеризациянең фон вакуумы 1,3 × 10-1Па кадәр җибәрелергә тиеш.Кислород яки азот күләмен контрольдә тоту өчен махсус таләпләр таләп иткән полимеризация реакцияләре өчен фон вакуум таләбе тагын да югарырак.

(2) Реакция реакциясе мономеры яки ташучы газ һәм мономерның катнаш газы

Вакуум дәрәҗәсе 13-130Па.Эш таләп итә торган плазма полимеризациясе өчен тиешле агым белән идарә итү режимы һәм агым тизлеге сайланырга тиеш, гадәттә 10.100мл / мин.Плазмада мономер молекулалары ионлаштырыла һәм энергия кисәкчәләрен бомбардирлау белән аерыла, нәтиҗәдә ион һәм актив ген кебек актив кисәкчәләр барлыкка килә.Плазма белән активлашкан актив кисәкчәләр газ фазасы һәм каты фаза интерфейсында Плазма полимеризациясен кичерергә мөмкин.Мономер - Плазма полимеризациясе өчен прекурсор чыганагы, һәм керү реакциясе газы һәм мономер билгеле чисталыкка ия ​​булырга тиеш.

3) Дулкынландыргыч электр белән тәэмин итүне сайлау

Полимерлаштыру өчен плазма мохитен тәэмин итү өчен, плазма DC, югары ешлыклы, RF яки микродулкынлы энергия чыганаклары ярдәмендә ясалырга мөмкин.Электр белән тәэмин итүне сайлау полимерның структурасы һәм эшләве таләпләренә нигезләнеп билгеләнә.

(4) Агызу режимын сайлау

Полимер таләпләре өчен Плазма полимеризациясе ике агызу режимын сайлый ала: өзлексез агызу яки импульс агымы.

(5) Агызу параметрларын сайлау

Плазма полимеризациясен үткәргәндә, плазма параметрларыннан, полимер үзлекләреннән һәм структура таләпләреннән чыгару параметрларын исәпкә алырга кирәк.Полимеризация вакытында кулланылган көченең зурлыгы вакуум камерасы күләме, электрод зурлыгы, мономер агымы тизлеге һәм структурасы, полимеризация тизлеге, полимер структурасы һәм эшләнеше белән билгеләнә.Мәсәлән, реакция камерасы күләме 1L булса һәм RF Плазма полимеризациясе кабул ителсә, агызу көче 10 ~ 30W диапазонында булачак.Мондый шартларда барлыкка килгән плазма җыелып, эш кисәгендә нечкә пленка ясарга мөмкин.Плазма полимеризация пленкасының үсеш темплары электр белән тәэмин итү, мономер төре һәм агым тизлеге, процесс шартлары белән үзгәрә.Гадәттә, үсеш темплары 100нм / мин ~ 1ум / мин.

(6) Плазма полимеризациясендә параметр үлчәү

Плазма полимеризациясендә үлчәнергә тиешле плазма параметрлары һәм процесс параметрлары: агызу көчәнеше, агызу токы, агызу ешлыгы, электрон температурасы, тыгызлыгы, реакция төркеме тибы һәм концентрация һ.б.

—— Бу мәкалә Гуандун Чжэнхуа Технологиясе тарафыннан чыгарылды, аоптик каплау машиналары җитештерүче.