1. Бомбардмент чистарту субстраты
1.1) Чүпрәле каплау машинасы субстратны чистарту өчен ялтыравыклы агызуны куллана.Ягъни, аргон газын палатага зарядлагыз, агызу көчәнеше 1000В тирәсе, Электр белән тәэмин итүне кабызганнан соң, ялтыравык чыгарыла, һәм субстрат аргон ион бомбардирасы белән чистартыла.
1.2) Сәнәгатьтә югары дәрәҗәдәге бизәкләр җитештерә торган каплау машиналарында чистарту өчен кечкенә дуга чыганаклары чыгарган титан ионнары кулланыла.Чүпрәле каплау машинасы кечкенә дуга чыганагы белән җиһазландырылган, һәм кечкенә дуга чыганагы чыгару аркасында барлыкка килгән дуга плазмасында титан ион агымы субстратны бомбардировать итү һәм чистарту өчен кулланыла.
2. Титан нитрид каплавы
Титан нитрид нечкә пленкаларны урнаштырганда, титан өчен максатлы материал - титан.Максатлы материал электр энергиясенең тискәре электродына тоташтырылган, һәм максат көчәнеше 400 ~ 500В;Аргон агымы тотрыклы, һәм контроль вакуум (3 ~ 8) x10-1PA.Субстрат 100 ~ 200В көчәнеш белән, электр белән тәэмин итүнең тискәре электродына тоташтырылган.
Титан мишеньның электр белән тәэмин ителешен кабызганнан соң, ялтыравык агызу барлыкка килә, һәм югары энергияле аргон ионнары бөтерелү максатын бомбардировать итәләр, титан атомнарын мишеньга ташлыйлар.
Азот реакциясе кертелә, һәм титан атомнары һәм азот каплау камерасында титан ионнарына һәм азот ионнарына ионлаштырыла.Субстратка кулланылган тискәре тискәре электр кыры җәлеп итү астында, титан ионнары һәм азот ионнары субстрат өслегенә тизләнәләр, химик реакция һәм титан нитрид пленка катламын формалаштыру өчен.
3. Субстратны чыгар
Алдан билгеләнгән пленка калынлыгына җиткәч, чәчелгән электр тәэминатын, субстрат электр энергиясен һәм һава чыганагын сүндерегез.Субстрат температурасы 120 thanдан түбән булганнан соң, каплау камерасын һава белән тутырыгыз һәм субстратны чыгарыгыз.
Бу мәкалә тарафыннан бастырылганмагнитрон чәчкеч каплау машинасы җитештерүче- Гуандун Чжэнхуа.
Пост вакыты: 07-2023 апрель