Буш катод ион каплау процессы түбәндәгечә:
1 Chin Чин инготларын җимерегез.
2 work Эш кисәген монтажлау.
3 5 5 × 10-3Pa эвакуацияләнгәннән соң, аргон газы көмеш трубадан каплау камерасына кертелә, һәм вакуум дәрәҗәсе 100Pa тирәсе.
4 a Күрсәткеч көчен кабызыгыз.
5 the Буш катод агызуны кабызу өчен дуга аркасын кабызганнан соң. агызу, югары ялтыравыклы ток тыгызлыгы, Көмеш трубадагы тычкан ионнарының югары тыгызлыгы вантаж трубасы стенасын бомбардировать итә, труба стенасын электрон агымга кадәр тиз җылытырга, ялтыравыктан чыгару режимы кинәт үзгәрергә. дуга аркылы чыгу, көчәнеш 40 ~ 70В, ток 80 ~ 300А.
6 uc Вакуум дәрәҗәсен көйләү. Буш катод мылтыгыннан ялтыравык вакуум дәрәҗәсе якынча 100 Па, һәм вакуум каплау дәрәҗәсе 8 × 10-1 ~ 2Па. Шуңа күрә, дуга аркасын кабызганнан соң, керә торган аргонны киметегез. газ мөмкин кадәр тизрәк, вакуум дәрәҗәсен каплау өчен яраклы диапазонга көйләгез.
7 、 Титан белән капланган төп катлам. Электрон анодик җимерелгән Чин металл инготына агыла, кинетик энергияне җылылык энергиясенә әверелдерү, Чин металлын җылыту белән парга әйләндерү, пар атомнары титан пленкасын формалаштыру өчен эш өлешенә барып җитәләр.
8 T TiN. Азот газы каплау палатасына китерелә, азот газы һәм парга әйләнгән атомнар азот һәм титан ионнарына ионлаштырыла. Титан пар парларының атом энергиясенең тыгыз агымнары белән инеластик бәрелешү ихтималы, Металлның аерылу дәрәҗәсе 20% ~ 40% ка кадәр. Титан ионнары химик реакциядә газ азотына, нитрид мантия кино катламын алу өчен, химик реакциягә күбрәк мөгаен. Буш катод мылтыгы парлану чыганагы ， Башка чыганак Ионлаштыру. Каплау вакытында, электромагнит кәтүкнең токы шулай ук көйләнергә тиеш, электрон нурны җимерелү үзәгенә юнәлтегез, Шулай итеп, электрон агымның көч тыгызлыгы арта.
9 、 Электр энергиясен сүндерү.
Пост вакыты: Июль-08-2023