Катодик дуга чыганагы ион каплау процессы, нигездә, башка каплау технологияләре белән бертигез, һәм эш кисәкләрен урнаштыру, вакуум кебек кайбер операцияләр кабатланмый.
1. Эш кисәкләрен бомбардирлау
Каплау алдыннан, аргон газы 2 × 10-2Pa вакуумы белән каплау камерасына кертелә.
20% дежур циклы һәм 800-1000В эш кисәге белән импульсның икеләтә электр белән тәэмин ителешен кабызыгыз.
Дуга көче кабызылганда, салкын кыр дугасы яктылыгы чыгарыла, ул дуга чыганагыннан күп күләмдә электрон ток һәм титан ион токы чыгарып, югары тыгызлыктагы плазманы барлыкка китерә.Титан ионы эш кисәгенә кертелгән тискәре югары басым астында эш кисәгенә уколны тизләтә, эш битенә урнаштырылган калдыклы газны һәм пычраткыч матдәләрне бомбардировать итә, һәм эш өслеген чистарта һәм чистарта;Шул ук вакытта, каплау камерасындагы хлор газы электроннар белән ионлаштырыла, һәм аргон ионнары эш өслеген бомбардирлауны тизләтә.
Шуңа күрә, бомбардирны чистарту эффекты яхшы.Бомбардировщикны 1 минут чамасы гына чистарту эш кисәген чистарта ала, ул "төп дуга бомбардиры" дип атала.Титан ионнарының зур массасы аркасында, кечкенә дуга чыганагы бомбардировщик һәм чистарту өчен кулланылса, эш кисәгенең температурасы кызып китәргә мөмкин, һәм корал кыры йомшак булырга мөмкин.Гомумән алганда, кечкенә дуга чыганаклары өстән аска бер-бер артлы кабызыла, һәм һәр кечкенә дуга чыганагы бомбардировщикны чистарту вакыты якынча 1 минут.
（1 tit Титан асты катламы
Фильм һәм субстрат арасындагы ябышуны яхшырту өчен, саф титан субстрат катламы, гадәттә, титан нитридын каплаганчы капланган.Вакуум дәрәҗәсен 5 × 10-2-3 × 10-1Pa итеп көйләгез, эш кисәгенең көчәнешен 400-500Вка көйләгез, һәм импульсның электр энергиясен тәэмин итү дежур циклын 40% ~ 50% ка көйләгез.Әле кечкенә дуга чыганакларын бер-бер артлы кабызып, салкын кыр аркылы чыгару.Эш кисәгенең тискәре көчәнешенең кимүе аркасында титан ионнары энергиясе кими.Эш кисәгенә җиткәч, бөтерелү эффекты чүпләү эффектыннан азрак, һәм титан нитриды каты пленка катламы һәм субстрат арасындагы бәйләнеш көчен яхшырту өчен эш өлешендә титан күчү катламы барлыкка килә.Бу процесс шулай ук эш кисәген җылыту процессы.Чиста титан максаты ташлангач, плазмадагы яктылык зәңгәр төстә.
1.Аммониацияләнгән савыт каты пленка белән каплау
Вакуум дәрәҗәсен 3 × 10 га көйләгез-1-5Па, эш кисәгенең көчәнешен 100-200Вка көйләгез, һәм импульсның электр белән тәэмин ителешенең дежур циклын 70% ~ 80% ка көйләгез.Азот кертелгәннән соң, титан - титан нитрид каты пленкасын саклау өчен дуга аркасы плазмасы белән комбинация реакциясе.Бу вакытта вакуум камерасындагы плазманың яктылыгы чия кызыл.Әгәр дә С.2H2, О.2, һ.б. кертелә, TiCN, TiO2һ.б. кино катламнарын алырга мөмкин.
IsБу мәкалә Гуандун Чжэнхуа тарафыннан чыгарылган, авакуум каплау машинасы җитештерүче
Пост вакыты: июнь-01-2023