1, Максатлы өслектә металл кушылмалар формалаштыру
Металл максатлы өслектән реактив бөтерелү процессы ярдәмендә кушылма кайда барлыкка килә?Реактив газ кисәкчәләре һәм максатлы өслек атомнары арасында химик реакция катнаш атомнар чыгарганга, гадәттә экзотермик, реакция җылылыгы үткәрү ысулы булырга тиеш, югыйсә химик реакция дәвам итә алмый.Вакуум шартларында газлар арасында җылылык үткәрү мөмкин түгел, шуңа күрә химик реакция каты өслектә булырга тиеш.Реакциянең бөтерелүе максатлы өслекләрдә, субстрат өслекләрдә һәм башка структур өслекләрдә катнашмалар барлыкка китерә.Субстрат өслегендә кушылмалар ясау - максат, башка структур өслектә кушылмалар ясау - ресурсларны әрәм итү, һәм максатлы өслектә кушылмалар ясау кушылма атом чыганагы буларак башлана һәм тагын да катлаулы атомнар белән тәэмин итү өчен киртә булып тора.
2, Максатлы агулануның йогынты факторлары
Максатлы агулануга тәэсир итүче төп фактор - реакция газы һәм чәчелгән газның катнашуы, артык реакция газы максатлы агулануга китерәчәк.Реактив бөтерелү процессы максатлы өслектә башкарыла, канал мәйданы реакция кушылмасы белән капланган кебек тоела яки реакция кушылмасы киселгән һәм яңадан металл өслеккә ачылган.Әгәр катнаш кушылу тизлеге кушылма сызу тизлегеннән зуррак булса, кушылуны каплау өлкәсе арта.Билгеле бер көчтә катнаш кушылуда катнашкан реакция газы күләме арта һәм кушылма җитештерү тизлеге арта.Әгәр реакция газы артык артса, кушылуны каплау мәйданы арта.Әгәр дә реакциядә газ агымы тизлеген көйләп булмый икән, кушылу өлкәсенең арту темплары кысылмый, һәм бөтерелү каналы кушылма белән капланачак, чәчү максаты кушылма белән тулысынча капланган вакытта, максат. тулысынча агуланган.
3, Максатлы агулану күренеше
.Катодның максат өслегенә турыдан-туры кермәгез, ләкин максатлы өслектә тупланыгыз, салкын кырны дугадан чыгару өчен җиңел - катлау, катодның таралуы дәвам итмәсен өчен.
(2) анодның юкка чыгуы: максатлы агулану, вакуум камера стенасы шулай ук изоляцион пленка урнаштырганда, анод электроннарына барып җитү анодка керә алмый, анод юкка чыгу күренеше.
4, Максатлы агулануның физик аңлатмасы
(1) Гомумән алганда, металл кушылмаларның икенчел электрон эмиссия коэффициенты металлларныкыннан югарырак.Максатлы агуланганнан соң, максатның өслеге барлык металл кушылмалар, һәм ионнар белән бомбардировать ителгәннән соң, чыгарылган икенчел электроннар саны арта, бу космик үткәрүчәнлекне яхшырта һәм плазма импедансын киметә, түбән көчәнешкә китерә.Бу бөтерелү тизлеген киметә.Гадәттә, магнитронның көчәнеш көчәнеше 400В-600В арасында, һәм максатчан агулану килеп чыккач, бөтерелү көчәнеше сизелерлек кими.
.
.
5, Максатлы агулану өчен чишелешләр
(1) Урта ешлыклы электр тәэминаты яки радио ешлыклы электр белән тәэмин итү.
(2) Реакция газ агымының ябык әйләнешен контрольдә тоту.
3) Игезәк максатларны кабул итү
. ставкасы тик төшә.
IsБу мәкалә вакуум каплау җиһазлары җитештерүче Guangdong Zhenhua Technology тарафыннан бастырылган.
Пост вакыты: Ноябрь-07-2022