Ион каплаумашина DM Mattox тәкъдим иткән теориядән 1960-нчы елларда барлыкка килгән, һәм тиешле экспериментлар ул вакытта башланган;1971 елга кадәр, Палаталар һәм башкалар электрон нур ион белән каплау технологиясен бастырдылар;Реактив парга әйләндерү (ARE) технологиясе Буншах докладында 1972-нче елда, TiC һәм TiN кебек супер каты кино төрләре җитештерелгәндә күрсәтелде;Шулай ук 1972-нче елда Смит һәм Молли каплау процессында буш катод технологиясен кабул иттеләр.1980-нче елларда Кытайда ион белән каплау, ниһаять, сәнәгать куллану дәрәҗәсенә җитте, һәм вакуум күп дугалы ион каплау һәм дугадан чыгару ион каплау кебек каплау процесслары бер-бер артлы барлыкка килде.
Вакуум ион белән каплауның бөтен эш процессы түбәндәгечә: беренче,насосвакуум камерасы, аннарыкөтвакуум басымы 4X10 ⁻ ³ Paяки яхшырак, югары көчәнешле электр белән тәэмин итүне тоташтырырга һәм субстрат белән парга әйләнү арасында түбән көчәнешле газның түбән температуралы плазма мәйданын төзергә кирәк.Катодның ялтыравыклы агымын формалаштыру өчен субстрат электродны 5000В DC тискәре югары көчәнеш белән тоташтырыгыз.Инерт газ ионнары тискәре ялтыравык янында барлыкка килә.Алар катод караңгы өлкәсенә керәләр һәм электр кыры белән тизләнәләр һәм субстрат өслеген бомбалыйлар.Бу чистарту процессы, аннары каплау процессына керегез.Бомбардировщик җылыту нәтиҗәсендә кайбер каплау материаллары парланалар.Плазма өлкәсе протоннарга керә, электроннар һәм инерт газ ионнары белән бәрелешә, һәм аларның кечкенә өлеше ионлаштырылган, югары энергияле бу ионлаштырылган ионнар кино өслеген бомбага тоталар һәм кино сыйфатын ниндидер дәрәҗәдә яхшыртачаклар.
Вакуум ион белән каплау принцибы: вакуум камерасында, газ чыгару феноменын яки парланган материалның ионлаштырылган өлешен кулланып, парланган материал ионнарын яки газ ионнарын бомбардировщик астында, бер үк вакытта бу парланган матдәләрне яки аларның реакторларын субстратка урнаштырыгыз. нечкә фильм алу.Ион каплавымашинавакуум парга әйләнүне, плазма технологиясен һәм газ ялтыравыкларын берләштерә, бу кино сыйфатын яхшыртып кына калмый, фильмның куллану диапазонын да киңәйтә.Бу процессның өстенлекләре - көчле дифракция, яхшы фильм ябышуы, төрле каплау материаллары.Ион белән каплау принцибын беренче тапкыр DM Mattox тәкъдим итте.Ион белән каплауның күп төрләре бар.Иң еш очрый торган төр - парга әйләнү, шул исәптән каршылык җылыту, электрон нур җылыту, плазма электрон нур җылыту, югары ешлыклы индукция җылыту һәм башка җылыту ысуллары.
Пост вакыты: 14-2023 февраль