Вакуум парга әйләнү принцибы
1 vacu Вакуум парга әйләнү җиһазлары һәм физик процессы
Вакуум парга әйләнү җиһазлары, нигездә, вакуум камерасы һәм эвакуация системасыннан тора.Вакуум камерасы эчендә парлану чыганагы (ягъни парлану җылыткыч), субстрат һәм субстрат каркасы, субстрат җылыткыч, эскиз системасы һ.б. бар.
Каплау материалы вакуум камерасының парга әйләнү чыганагына урнаштырылган, һәм югары вакуум шартларында ул парга әйләнү чыганагы белән җылытыла.Пар молекулаларының уртача ирекле диапазоны вакуум камерасының сызыклы зурлыгыннан зуррак булганда, кино парының атомнары һәм молекулалары парлану чыганагы өслегеннән качканнан соң, башка молекулалар яки атомнар бәрелеше аркасында бик сирәк комачаулыйлар, һәм капланган субстрат өслегенә турыдан-туры барып җитәләр.Субстратның түбән температурасы аркасында пленка парлары кисәкчәләре конденсацияләнә һәм пленка ясыйлар.
Парлану молекулаларының һәм субстратларның ябышуын яхшырту өчен, субстратны тиешле җылыту яки ион чистарту ярдәмендә активлаштырырга мөмкин.Вакуум парга әйләнү түбәндәге физик процесслар аша материаль парга әйләнүдән, фильмга ташлаудан алып бара.
(1) Башка энергия формаларын җылылык энергиясенә әверелдерүнең төрле ысулларын кулланып, кино материалы билгеле күләмдә энергия белән (0,1 - 0,3 eV) газ кисәкчәләренә (атом, молекулалар яки атом кластерлары) парга әйләнергә яки сублиматланырга җылытыла.
(2) Газлы кисәкчәләр пленка өслегеннән китәләр һәм субстрат өслегенә билгеле бер хәрәкәт тизлегендә, бәрелешсез, туры сызыкта ташылалар.
(3) Газлы кисәкчәләр субстрат кушылу һәм нуклеат өслегенә барып җитәләр, аннары каты фазалы пленкага әйләнәләр.
4) Фильмны тәшкил иткән атомнарны үзгәртеп кору яки химик бәйләү.
2 apo Парлану җылыту
(1) Каршылык җылыту парга әйләнү
Каршылык җылыту парга әйләнү - иң гади һәм иң еш кулланыла торган җылыту ысулы, гадәттә 1500 than астыннан эретү ноктасы булган каплау материалларына, чыбык яки плитка формасында югары эретү металллары (W, Mo, Ti, Ta, бор нитриды һ.б.). гадәттә парга әйләнү чыганагының тиешле формасына ясалган, парга әйләнгән материаллар белән тутырылган, электр токының Джуле җылылыгы аша каплау материалын эретү, парга әйләндерү яки сублиматлаштыру өчен, парлану чыганагы формасы, нигездә, күп катлы спираль, U формасындагы, син дулкынын үз эченә ала. , нечкә тәлинкә, көймә, конус кәрзин һ.б. Шул ук вакытта, ысул парлану чыганагы материалының югары эрү ноктасы, аз туендырылган пар басымы, тотрыклы химик үзлекләре булуын, югары температурада каплау материалы белән химик реакция булмавын таләп итә, яхшы җылылыкка каршы тору, көч тыгызлыгының кечкенә үзгәрүе һ.б. Бу парлау чыганагы аша югары ток кабул итә, аны җылыту һәм кино материалын туры җылыту белән парга әйләндерү, яисә кино материалын графиттан ясалган һәм билгеле бер югары температурага чыдам. металл оксидлары (мәсәлән, A202, B0) һәм турыдан-туры җылыту өчен парга әйләнү өчен башка материаллар.
Каршылык җылыту парга әйләнүнең чикләүләре бар: отрядлы металлларның түбән парлы басымы бар, бу нечкә пленка ясау кыен;кайбер элементлар җылыту чыбыклары белән эретү формалаштыру җиңел;эретелгән фильмның бердәм композициясен алу җиңел түгел.Гади структурасы, түбән бәясе һәм каршылык җылыту парга әйләнү ысулының җиңел эшләве аркасында, бу парлану ысулының бик еш кулланылуы.
(2) Электрон нур җылыту парга әйләнү
Электрон нурның парга әйләнүе - каплау материалын парга әйләндерү ысулы, аны югары энергия тыгызлыгы булган электрон нур белән бомбардировать итеп, су белән суытылган бакырга урнаштырып.Парлану чыганагы электрон эмиссия чыганагыннан, электрон тизләнеш көче чыганагыннан, критик (гадәттә бакыр кристалл), магнит кыр кәтүке һәм суыткыч су җыелмасы һ.б.дан тора. Бу җайланмада җылытылган материал суга урнаштырыла. - суытылган кристалл, һәм электрон нур материалның бик кечкенә өлешен бомбардировать итә, калган материалның күбесе кристаллның суыту эффекты астында бик түбән температурада кала, аны крестьянның бомбардировщик өлеше дип санарга мөмкин.Шулай итеп, парга әйләнү өчен электрон нурны җылыту ысулы каплау материалы белән парга әйләнү материалы арасында пычранудан сакланырга мөмкин.
Электрон нурның парлану чыганагы структурасын өч төргә бүлеп була: туры мылтык (Булес мылтыгы), боҗралы мылтык (электр белән бозылган) һәм электрон мылтык (магнит белән бозылган).Бер яки берничә кристаллны парлану корылмасына урнаштырырга мөмкин, ул бер үк вакытта яки аерым күп төрле матдәләрне парга әйләндерә ала.
Электрон нурның парга әйләнү чыганаклары түбәндәге өстенлекләргә ия.
The Электрон нур бомбардирование парга әйләнү чыганагының югары нур тыгызлыгы каршылык җылыту чыганагына караганда күпкә зуррак энергия тыгызлыгын ала ала, ул W, Mo, Al2O3 һ.б. кебек эретү ноктасы материалларын парга әйләндерә ала ..
- Катлам материалы су белән суытылган бакырга урнаштырыла, ул парга әйләнү материалының парга әйләнүеннән һәм алар арасындагы реакциядән саклый ала.
Eatылылык каплау материалы өслегенә турыдан-туры кушылырга мөмкин, бу җылылык нәтиҗәлелеген югары итә, җылылык үткәрү һәм җылылык нурланышын югалта.
Электрон нурны җылыту парга әйләнү ысулының җитешсезлеге шунда: электрон мылтыктан төп электроннар һәм каплау материалы өслегеннән икенчел электроннар парга әйләнгән атомнарны һәм калдыклы газ молекулаларын ионлаштыралар, бу кайвакыт кино сыйфатына тәэсир итәчәк.
(3) frequгары ешлыклы индукция җылыту парга әйләнү
Frequгары ешлыклы индукция җылыту парга әйләнү - критикны каплау материалы белән югары ешлыктагы спираль кәтүкнең үзәгенә урнаштыру, шулай итеп каплау материалы югары ешлыклы электромагнит кыры индукциясе астында көчле ток һәм гистерез эффектын барлыкка китерә. парланган һәм парга әйләнгәнче җылыту өчен кино катламы.Парлану чыганагы, гадәттә, су белән суытылган югары ешлыклы кәтүк һәм графит яки керамик (магний оксиды, алюминий оксиды, бор оксиды һ.б.) тора.Highгары ешлыктагы электр белән тәэмин итү ун меңнән берничә йөз мең Гц ешлыгын куллана, кертү көче берничә-берничә йөз киловатт, мембрана материалы күләме кечерәк булса, индукция ешлыгы шулкадәр югары.Индукцион кәтүк ешлыгы гадәттә су белән суытылган бакыр трубадан ясала.
Highгары ешлыклы индукция җылыту парга әйләнү ысулының җитешсезлеге шунда: кертү көчен көйләү җиңел түгел, аның түбәндәге өстенлекләре бар.
Ighгары парлану дәрәҗәсе
- Парлану чыганагының температурасы бертөрле һәм тотрыклы, шуңа күрә тамчыларның каплау феноменын ясау җиңел түгел, һәм ул шулай ук урнаштырылган пленкадагы тишекләр күренешеннән сакланырга мөмкин.
- Парлану чыганагы бер тапкыр йөкләнә, һәм температура белән идарә итү чагыштырмача җиңел һәм гади.
Пост вакыты: 28-2022 октябрь