Гадәттә CVD реакцияләре югары температураларга таяналар, шуңа күрә термик дулкынланган химик пар парламенты (TCVD) дип атала.Ул, гадәттә, органик булмаган прекурсорларны куллана һәм кайнар стенада һәм салкын дивар реакторларында башкарыла.Аның җылыту ысулларына радио ешлыгы (RF) җылыту, инфракызыл нурланыш җылыту, каршылык җылыту һ.б. керә.
Кайнар стенаның химик парлары
Чынлыкта, кайнар стеналы химик пар парлау реакторы - термостатик мич, гадәттә резистив элементлар белән җылытыла, арадаш җитештерү өчен.Чип кораллары белән каплау өчен кайнар стеналы химик пар парламенты җитештерү корылмасы рәсеме күрсәтелгән.Бу кайнар стеналы химик пар парламенты TiN, TiC, TiCN һәм башка нечкә фильмнарны каплый ала.Реактор җитәрлек күләмдә эшләнергә мөмкин, аннары күп санлы компонентлар тотып була, һәм шартлар бик төгәл контрольдә тотыла ала.1 нче рәсемдә ярымүткәргеч җайланмасы җитештерүнең кремний допингы өчен эпитаксиаль катлам җайланмасы күрсәтелә.Мичтәге субстрат вертикаль юнәлештә урнаштырылган, кисәкчәләр белән чүпләнү өслеген пычратуны киметү, һәм җитештерүнең йөкләнешен сизелерлек арттыру.Ярымүткәргеч җитештерү өчен кайнар дивар реакторлары гадәттә түбән басымда эшлиләр.
Пост вакыты: Ноябрь-08-2022