قاتتىق چاپانلارنى ئامانەت قويۇشنىڭ ئادەتتىكى تېخنىكىلىرىنى تونۇشتۇرۇش

1. ئىسسىقلىق CVD تېخنىكىسى

قاتتىق قاپلاش كۆپىنچە مېتال ساپال بويۇملار (TiN قاتارلىقلار) بولۇپ ، مېتالنىڭ سىر ۋە رېئاكتىپ گازىنىڭ رېئاكسىيەسى ئارقىلىق شەكىللىنىدۇ.دەسلەپتە ، ئىسسىقلىق CVD تېخنىكىسى 1000 a يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىسسىقلىق ئېنېرگىيىسىنىڭ بىرىكمە رېئاكسىيەنىڭ ئاكتىپلاش ئېنېرگىيىسى بىلەن تەمىنلەشكە ئىشلىتىلگەن.بۇ تېمپېراتۇرا پەقەت TiN ۋە باشقا قاتتىق چاپلاقلارنى سېمونت كاربون قوراللىرىغا قويۇشقا ماس كېلىدۇ.ھازىرغا قەدەر ، TiN-Al20 بىرىكمە يوپۇقنى سېمونت كاربون قوراللىرىنىڭ بېشىغا قويۇش يەنىلا مۇھىم تېخنىكا.

2. كاۋاك كاتود ئىئون سىر ۋە ئىسسىق سىم ئەگمە ئىئون سىر

ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 80-يىللىرىدا ، كاۋاك كاتود ئىئون سىر ۋە ئىسسىق سىم ئەگمە ئىئون سىر بىلەن سىرلانغان كېسىش قوراللىرى قويۇلغان.بۇ ئىئون سىرلاش تېخنىكىسىنىڭ ھەر ئىككىسى ئەگمە قويۇپ بېرىش ئىئون سىرلاش تېخنىكىسى بولۇپ ، مېتال ئىئونلاشتۇرۇش نىسبىتى% 20 ~% 40 كە يېتىدۇ.

3. كاتود ئەگمە ئىئون سىرلاش

كاتولىك ئەگمە ئىئون سىرنىڭ بارلىققا كېلىشى قېلىپلارغا قاتتىق چاپلاش تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىي قىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقاردى.كاتولىك ئەگمە ئىئون سىرنىڭ ئىئونلىنىش نىسبىتى% 60 ~% 90 بولۇپ ، كۆپ ساندىكى مېتال ئىئون ۋە رېئاكسىيە گازى ئىئونىنىڭ ئەسەر يۈزىگە يېتىشىگە شارائىت ھازىرلاپ ، يەنىلا يۇقىرى پائالىيەتنى ساقلاپ قالىدۇ ، نەتىجىدە ئىنكاس چۆكۈش ۋە قاتتىق پەردە شەكىللىنىدۇ. TiN.ھازىر كاتولىك ئەگمە ئىئون سىرلاش تېخنىكىسى ئاساسلىقى قېلىپلارغا قاتتىق چاپلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.

كاتود ئەگمە مەنبەسى مۇقىم ئېرىتىلگەن كۆلچەكسىز قاتتىق ھالەتتىكى پارغا ئايلىنىش مەنبەسى بولۇپ ، ئەگمە مەنبە ئورنىنى خالىغانچە قويغىلى بولىدۇ ، سىر ئۆينىڭ بوشلۇقتىن پايدىلىنىش نىسبىتىنى ئۆستۈرۈپ ، ئوچاق قاچىلاش ئىقتىدارىنى ئاشۇرغىلى بولىدۇ.كاتود ئەگمە مەنبەلىرىنىڭ شەكلى كىچىك ئايلانما كاتود ئەگمە مەنبەسى ، تۈۋرۈك ئەگمە مەنبەسى ۋە تىك تۆت بۇلۇڭلۇق تەكشى چوڭ ئەگمە مەنبەنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.كىچىك ئەگمە مەنبە ، تۈۋرۈك ئەگمە مەنبە ۋە چوڭ ئەگمە مەنبەنىڭ ئوخشىمىغان تەركىبلىرىنى ئايرىم ئورۇنلاشتۇرۇپ ، كۆپ قاتلاملىق فىلىم ۋە نانو كۆپ قەۋەتلىك كىنولارنى ئامانەت قويغىلى بولىدۇ.شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، كاتولىك ئەگمە ئىئون سىرنىڭ مېتال ئىئونلاشتۇرۇش نىسبىتى يۇقىرى بولغاچقا ، مېتال ئىئون تېخىمۇ كۆپ رېئاكسىيە گازىنى سۈمۈرەلەيدۇ ، نەتىجىدە كەڭ جەريان دائىرىسى ۋە ئاددىي مەشغۇلات ئارقىلىق ئېسىل قاتتىق پەردىلەرگە ئېرىشىدۇ.قانداقلا بولمىسۇن ، كاتولىك ئەگمە ئىئون سىر بىلەن ئېرىشكەن سىر قەۋىتىنىڭ مىكرو قۇرۇلمىسىدا يىرىك تامچىلار بار.يېقىنقى يىللاردىن بۇيان ، نۇرغۇن يېڭى تېخنىكىلار بارلىققا كېلىپ ، كىنو قەۋىتىنىڭ قۇرۇلمىسىنى مۇكەممەللەشتۈردى ، بۇ ئەگمە ئىئون سىرلاش پەردىسىنىڭ سۈپىتىنى ئۆستۈردى.

—— بۇ ماقالە گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تېخنىكىسى تەرىپىدىن ئېلان قىلىندىئوپتىك سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچى.