پلازما بىۋاسىتە پولىمېرلىشىش جەريانى

پلازما بىۋاسىتە پولىمېرلىشىش جەريانى

پلازما پولىمېرلىشىش جەريانى ھەم ئىچكى ئېلېكترود پولىمېرلاش ئۈسكۈنىسى ۋە تاشقى ئېلېكترود پولىمېرلاش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن بىر قەدەر ئاددىي ، ئەمما پلازما پولىمېرلىشىشتا پارامېتىر تاللاش تېخىمۇ مۇھىم ، چۈنكى پارامېتىرلار پلازما پولىمېرلىشىش جەريانىدا پولىمېرلىق پىلاستىنكىنىڭ قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارىغا تېخىمۇ چوڭ تەسىر كۆرسىتىدۇ.

بىۋاسىتە پلازما پولىمېرلىشىشنىڭ مەشغۇلات باسقۇچلىرى تۆۋەندىكىچە:

(1) ۋاكۇئۇملاش

ۋاكۇئۇملۇق شارائىتتا پولىمېرلىشىشنىڭ تەگلىك ۋاكۇئۇمنى 1.3 × 10-1Pa غا يەتكۈزۈش كېرەك.ئوكسىگېن ياكى ئازوت مىقدارىنى كونترول قىلىشقا ئالاھىدە تەلەپ قىلىدىغان پولىمېرلىشىش رېئاكسىيەسىگە نىسبەتەن ، تەگلىك ۋاكۇئۇم تەلىپى تېخىمۇ يۇقىرى.

(2) توشۇغۇچى گازى ۋە مونومېرنىڭ ئارىلاشما گازى ياكى ئارىلاشما گاز

ۋاكۇئۇم دەرىجىسى 13-130Pa.خىزمەت تەلەپ قىلىدىغان پلازما پولىمېرلىشىش ئۈچۈن ، مۇۋاپىق بولغان ئېقىشنى كونترول قىلىش ھالىتى ۋە ئېقىش نىسبىتى تاللىنىدۇ ، ئادەتتە مىنۇتىغا 10.100mL.پلازمادا ، مونومېر مولېكۇلاسى ئېنېرگىيىلىك زەررىچىلەرنى بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق ئىئونلىنىدۇ ۋە پارچىلىنىدۇ ، نەتىجىدە ئىئون ۋە ئاكتىپ گېن قاتارلىق ئاكتىپ زەررىچىلەر پەيدا بولىدۇ.پلازما ئارقىلىق ئاكتىپلانغان ئاكتىپ زەررىچىلەر گاز باسقۇچى ۋە قاتتىق باسقۇچنىڭ كۆرۈنمە يۈزىدە پلازما پولىمېرلىشىشنى باشتىن كەچۈرەلەيدۇ.مونومېر پلازما پولىمېرلىشىشنىڭ ئالدىن كېلىش مەنبەسى بولۇپ ، كىرگۈزۈش رېئاكسىيە گازى ۋە مونومېرنىڭ ساپلىقى بولىدۇ.

(3) ھاياجانلىنىش توك بىلەن تەمىنلەش

DC ، يۇقىرى چاستوتىلىق ، RF ياكى مىكرو دولقۇنلۇق توك مەنبەسىدىن پايدىلىنىپ پلازما ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ.توك بىلەن تەمىنلەش پولىمېرنىڭ قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارىغا قويۇلغان تەلەپكە ئاساسەن بېكىتىلىدۇ.

(4) قويۇپ بېرىش ھالىتىنى تاللاش

پولىمېر تەلىپىگە قارىتا ، پلازما پولىمېرلىشىش ئىككى خىل قويۇپ بېرىش ھالىتىنى تاللايدۇ: ئۇدا قويۇپ بېرىش ياكى تومۇر چىقىرىش.

(5) قويۇپ بېرىش پارامېتىرلىرىنى تاللاش

پلازما پولىمېرلاش ئېلىپ بارغاندا ، پلازما پارامېتىرى ، پولىمېرلىق خۇسۇسىيەت ۋە قۇرۇلما تەلىپىدىن قويۇپ بېرىش پارامېتىرلىرىنى ئويلىشىش كېرەك.پولىمېرلىشىش جەريانىدا قوللىنىلغان توكنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ۋاكۇئۇم ئۆينىڭ ھەجىمى ، ئېلېكترودنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ، مونومېرنىڭ ئېقىش نىسبىتى ۋە قۇرۇلمىسى ، پولىمېرلىشىش نىسبىتى ۋە پولىمېر قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارى تەرىپىدىن بەلگىلىنىدۇ.مەسىلەن ، ئەگەر رېئاكسىيە ئۆيىنىڭ ھەجىمى 1L بولسا ، RF پلازما پولىمېرلاش قوللىنىلسا ، قويۇپ بېرىش كۈچى 10 ~ 30W ئارىلىقىدا بولىدۇ.بۇنداق شارائىتتا ھاسىل قىلىنغان پلازما يىغىلىپ ئەسەرنىڭ يۈزىدە نېپىز پەردە ھاسىل قىلالايدۇ.پلازما پولىمېرلاش پەردىسىنىڭ ئېشىش سۈرئىتى توك بىلەن تەمىنلەش ، مونومېر تىپى ۋە ئېقىش سۈرئىتى ۋە جەريان شارائىتى بىلەن ئوخشىمايدۇ.ئادەتتە ئېشىش سۈرئىتى 100nm / min ~ 1um / min.

(6) پلازما پولىمېرلىشىشتىكى پارامېتىر ئۆلچەش

پلازما پولىمېرلىشىشتا ئۆلچەيدىغان پلازما پارامېتىرلىرى ۋە جەريان پارامېتىرلىرى: توك چىقىرىش بېسىمى ، قويۇپ بېرىش ئېقىمى ، قويۇپ بېرىش چاستوتىسى ، ئېلېكتروننىڭ تېمپېراتۇرىسى ، زىچلىقى ، ئىنكاس گۇرۇپپىسىنىڭ تىپى ۋە قويۇقلۇقى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

—— بۇ ماقالە گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تېخنىكىسى تەرىپىدىن ئېلان قىلىندىئوپتىك سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچى.