كاتولىك ئەگمە مەنبەلىك ئىئون سىرلاش جەريانى باشقا سىرلاش تېخنىكىسى بىلەن ئاساسەن ئوخشاش ، خىزمەت ئەسەرلىرىنى ئورنىتىش ، ۋاكۇئۇملاش قاتارلىق بىر قىسىم مەشغۇلاتلار ئەمدى تەكرارلانمايدۇ.
1. ئەسەرلەرنى بومبا تازىلاش
سىرلاشتىن بۇرۇن ، ئارگېن گازى 2 × 10-2Pa ۋاكۇئۇم بىلەن سىرلاش ئۆيىگە كىرگۈزۈلىدۇ.
تومۇر بىر تەرەپلىمىلىك توك بىلەن تەمىنلەشنى قوزغىتىڭ ، ۋەزىپە دەۋرىيلىكى% 20 ، ئەسەرنىڭ بىر تەرەپلىمىلىكى 800-1000V.
ئەگمە توكنى ئاچقاندا ، سوغۇق مەيدان ئەگمە نۇر قويۇپ بېرىلىپ ، ئەگمە مەنبەدىن زور مىقداردىكى ئېلېكترون ئېقىمى ۋە تىتان ئىئون ئېقىمى تارقىلىپ ، يۇقىرى زىچلىقتىكى پلازما شەكىللىنىدۇ.تىتان ئىئونى ئەسەرگە ئىشلىتىلگەن سەلبىي يۇقىرى تەرەپلىمىلىك بېسىم ئاستىدا ئەسەرگە ئوكۇل سېلىشنى تېزلىتىدۇ ، ئەسەرنىڭ يۈزىگە چاپلانغان قالدۇق گاز ۋە بۇلغىمىلارنى بومبا پارتىلاپ ۋە پۈركۈپ ، ئەسەرنىڭ يۈزىنى تازىلاپ ۋە ساپلاشتۇرىدۇ.شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، سىرلاش ئۆيىدىكى خلور گازى ئېلېكترون ئارقىلىق ئىئونلىنىدۇ ، ئارگون ئىئونلىرى ئەسەر يۈزىنىڭ بومبا پارتىلىشىنى تېزلىتىدۇ.
شۇڭلاشقا ، بومبا تازىلاش ئۈنۈمى ياخشى.پەقەت 1 مىنۇتلۇق بومبا تازىلاش خىزمىتى «ئاساسلىق ئوق بومبىسى» دەپ ئاتىلىدىغان ئەسەرنى تازىلايدۇ.تىتان ئىئونىنىڭ كۆپلۈكى سەۋەبىدىن ، ئەگەر كىچىك ئەگمە مەنبە ئەسەرنى بەك ئۇزۇن بومبا ۋە تازىلاشقا ئىشلىتىلسە ، ئەسەرنىڭ تېمپېراتۇرىسى بەك قىزىپ كېتىدۇ ، قورال گىرۋىكى يۇمشاق بولۇپ قېلىشى مۇمكىن.ئادەتتىكى ئىشلەپچىقىرىشتا ، كىچىك ئوق مەنبەسى يۇقىرىدىن تۆۋەنگە بىر-بىرلەپ ئېچىلىدۇ ، ھەر بىر كىچىك ئەگمە مەنبەنىڭ بومبا تازىلاش ۋاقتى تەخمىنەن 1 مىنۇت.
（1 ating تىتاننىڭ ئاستى قەۋىتى
پىلىم بىلەن ئاستىرتاشنىڭ يېپىشقاقلىقىنى ياخشىلاش ئۈچۈن ، تىتان نىترىدنى سىرلاشتىن بۇرۇن بىر قەۋەت ساپ تىتان ئاستى قەۋىتى سىرلىنىدۇ.ۋاكۇئۇم دەرىجىسىنى 5 × 10-2-3 × 10-1Pa غا تەڭشەپ ، خىزمەتتىكى يان بېسىش بېسىمىنى 400-500V غا تەڭشەپ ، تومۇر يانتۇ توك بىلەن تەمىنلەشنىڭ ۋەزىپە دەۋرىنى% 40 ~% 50 كە تەڭشەڭ.يەنىلا كىچىك ئەگمە مەنبەنى بىر-بىرلەپ ئوت ئالدۇرۇپ ، سوغۇق مەيدان ئەگمە ئېقىمى ھاسىل قىلىدۇ.ئەسەرنىڭ مەنپىي بىر تەرەپلىمىلىك بېسىمىنىڭ تۆۋەنلىشى سەۋەبىدىن ، تىتان ئىئونىنىڭ ئېنېرگىيىسى تۆۋەنلەيدۇ.ئەسەرگە يەتكەندىن كېيىن ، پۈركۈش ئۈنۈمى چۆكۈش ئۈنۈمىدىن تۆۋەن بولىدۇ ، ھەمدە ئەسەردە تىتان ئۆتكۈنچى قەۋىتى شەكىللىنىپ ، تىتان نىترىد قاتتىق پىلاستىنكىسى بىلەن ئاستى بالا ئوتتۇرىسىدىكى باغلىنىش كۈچىنى ئۆستۈرىدۇ.بۇ جەريان يەنە ئەسەرنى قىزىتىش جەريانىدۇر.ساپ تىتان نىشانى قويۇپ بېرىلسە ، پلازمادىكى نۇر سۇس كۆك بولىدۇ.
1. ئاممونىيلانغان قاچا قاتتىق پىلاستىنكا
ۋاكۇئۇم دەرىجىسىنى 3 × 10 گە تەڭشەڭ-1-5Pa ، خىزمەتتىكى يان بېسىش بېسىمىنى 100-200V غا تەڭشەپ ، تومۇر بىر تەرەپلىمىلىك توك بىلەن تەمىنلەشنىڭ دەۋرىيلىكىنى% 70 ~% 80 كە تەڭشەڭ.ئازوت كىرگۈزۈلگەندىن كېيىن ، تىتان ئوق چىقىرىش پلازمىسى بىلەن بىرىكتۈرۈلگەن رېئاكسىيە بولۇپ ، تىتان نىترىد قاتتىق پىلاستىنكىسىنى قويىدۇ.بۇ ۋاقىتتا ۋاكۇئۇم كامېردىكى پلازماسنىڭ چىرىغى گىلاس قىزىل بولىدۇ.ئەگەر C.2H2, O.2قاتارلىقلار تونۇشتۇرۇلغان ، TiCN ، TiO2قاتارلىق كىنو قەۋەتلىرىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ.
–بۇ ماقالە گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن ئېلان قىلىنغانۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچى
يوللانغان ۋاقتى: Jun-01-2023