Theۋاكۇئۇم سىرماشىنا جەريانى: ۋاكۇئۇم پارغا ئايلىنىش ، ۋاكۇئۇم پۈركۈش قەۋىتى ۋە ۋاكۇئۇم ئىئون سىر دەپ ئىككىگە بۆلىنىدۇ.
1 uc ۋاكۇئۇمنىڭ پارغا ئايلىنىش قەۋىتى
ۋاكۇئۇملۇق شارائىتتا ، ماتېرىيالنى پارغا ئايلاندۇرۇڭ metal مەسىلەن مېتال ، مېتال قېتىشمىسى قاتارلىقلار ئاندىن ئۇلارنى يەر ئاستى يۈزىگە قويۇڭ ، پارغا ئايلاندۇرۇش ئۇسۇلى دائىم قارشىلىق بىلەن ئىسسىنىش ئۇسۇلىنى قوللىنىدۇ ، ئاندىن سىرلانغان ماتېرىيالنى ئېلېكترونلۇق نۇر بىلەن بومبا پارتىلىتىدۇ. گاز باسقۇچىغا پارلىنىپ ، ئاندىن يەر ئاستى يۈزىگە ئامانەت قويۇڭ ، تارىختا ۋاكۇئۇم ھور چۆكۈش PVD ئۇسۇلىدا قوللىنىلغان ئىلگىرىكى تېخنىكا.
2 ut Sputtering سىر
بۇ گاز (Ar) تولدۇرۇلغان ۋاكۇئۇم شارائىتىدا پارقىراق قويۇپ بېرىلىدۇ سىر ماتېرىيالدىن ياسالغان ، نىشان سىرتقا چىقىپ يەر ئاستى يۈزىگە قويۇلىدۇ بوشلۇققا قاراپ ئۇچقاندا ۋاكۇئۇم كامېردىكى گاز مولېكۇلىلىرى بىلەن ھەرىكەت يۆنىلىشىنى ئىختىيارى ۋە ئامانەت قويۇلغان كىنولار بىردەك بولىدۇ.
3 、 Ion سىر
ۋاكۇئۇم شارائىتىدا ، ۋاكۇئۇم شارائىتىدا ، مەلۇم پلازما ئىئونلاشتۇرۇش تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ ، سىرلانغان ماتېرىيال ئاتوملىرىنى ئىئونغا قىسمەن ئىئونلاشتۇرىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، نۇرغۇنلىغان يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتوملار ئىشلەپچىقىرىلىدۇ ， بۇ بالا ئېلېمېنتلارغا سەلبىي تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇ خىل ئۇسۇلدا ئىئون. نېپىز پەردە ھاسىل قىلىش ئۈچۈن چوڭقۇر سەلبىي تەرەپلىمىلىك ئاستىدا يەر ئاستى يۈزىگە قويۇلدى.
يوللانغان ۋاقىت: 23-مارتتىن 23-مارتقىچە