HiPIMS تېخنىكا تونۇشتۇرۇشى

No1 يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىت دولقۇنىنىڭ پرىنسىپى
يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىتلىق پۈركۈش تېخنىكىسىدا يۇقىرى چوققا تومۇر سوقۇش كۈچى (ئادەتتىكى ماگنىت دولقۇنىدىن 2-3 چوڭلۇقتىكى زاكاز) ۋە تۆۋەن تومۇر باج دەۋرىيلىكى (% 0.5-% 10) يۇقىرى مېتال ئايرىلىش نىسبىتى (% 50) گە يېتىدۇ. 1-رەسىمدە كۆرسىتىلگەندەك ، ماگنىت دولقۇنىنىڭ ئالاھىدىلىكىدىن ھاسىل بولغان ، چوققا نىشاننىڭ نۆۋەتتىكى زىچلىقى مەن قويۇپ بېرىش بېسىمى U ، I = kUn (n كاتود قۇرۇلمىسى ، ماگنىت مەيدانى بىلەن دائىملىق مۇناسىۋەتلىك. and material).تۆۋەن قۇۋۋەت زىچلىقىدا (تۆۋەن بېسىملىق) n قىممىتى ئادەتتە 5 تىن 15 كىچە بولىدۇ.توك چىقىرىش بېسىمىنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، نۆۋەتتىكى زىچلىق ۋە قۇۋۋەت زىچلىقى تېز ئاشىدۇ ، يۇقىرى بېسىملىق ۋاقىتتا ماگنىت مەيدانىنىڭ چەكلىنىشىنىڭ يوقىلىشى سەۋەبىدىن n قىممىتى 1 بولىدۇ.ئەگەر تۆۋەن توك زىچلىقىدا ، گاز قويۇپ بېرىش نورمال تومۇر چىقىرىش ھالىتىدىكى گاز ئىئونلىرى تەرىپىدىن بەلگىلىنىدۇ.ئەگەر يۇقىرى قۇۋۋەت زىچلىقىدا ، پلازما تەركىبىدىكى مېتال ئىئوننىڭ نىسبىتى ئېشىپ ، بىر قىسىم ماتېرىياللار ئالماشتۇرۇلىدۇ ، بۇ ئۆزلۈكىدىن پۈركۈش شەكلىدە بولىدۇ ، يەنى پلازما پۈركۈلگەن نېيترال زەررىچىلەر ۋە ئىككىلەمچى مېتال ئىئونلىرى ۋە ئىنېرت گازى ئاتوملىرى تەرىپىدىن ساقلىنىدۇ. مەسىلەن Ar پەقەت پلازماسنى ياندۇرۇش ئۈچۈنلا ئىشلىتىلىدۇ ، ئۇنىڭدىن كېيىن پۈركۈلگەن مېتال زەررىچىلەر نىشانغا يېقىن ئىئونلىنىپ ، تېز سۈرئەتتە ماگنىت ۋە ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتى ئاستىدا تېز سۈرئەتتە ئېقىپ كېتىشنى ساقلاپ قالىدۇ. ئىئونلانغان مېتال زەررىچىلەر.ئىسسىنىش ئۈنۈمىنىڭ نىشانغا ئېقىش جەريانى سەۋەبىدىن ، سانائەتتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ نىشاننىڭ مۇقىم يۈرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ، نىشانغا بىۋاسىتە قوللىنىلغان توك زىچلىقى بەك چوڭ بولۇپ كەتمەيدۇ ، ئادەتتە بىۋاسىتە سۇ سوۋۇتۇش ۋە نىشان ماتېرىيال ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بولىدۇ. تۆۋەندە 25 W / cm2 بولغان ئەھۋال ئاستىدا ، ۋاسىتىلىك سۇ سوۋۇتۇش ، نىشان ماتېرىيالنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناچار ، ئىسسىقلىق بېسىمى سەۋەبىدىن پارچىلىنىشتىن كېلىپ چىققان نىشان ماتېرىيال ياكى نىشان ماتېرىيالدا تۆۋەن تۇراقسىز قېتىشما تەركىبلەر بار ، توك زىچلىقى قاتارلىق ئەھۋاللار پەقەت مۇشۇنىڭدىلا بولىدۇ. 2 ~ 15 W / cm2 تۆۋەن ، يۇقىرى قۇۋۋەت زىچلىقىنىڭ تەلىپىدىن خېلىلا تۆۋەن.نىشاننى قىزىتىش مەسىلىسىنى ئىنتايىن تار يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ئارقىلىق ھەل قىلغىلى بولىدۇ.ئاندېرس يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىت دولقۇنىنىڭ بىر خىل تومۇر سوقۇشى دەپ ئېنىقلىما بېرىدۇ ، چوققا قۇۋۋەت زىچلىقى ئوتتۇرىچە توك زىچلىقىدىن 2 دىن 3 كىچە چوڭلۇقتا ئېشىپ كېتىدۇ ، نىشان ئىئون پۈركۈش پۈركۈش جەريانىدا ھۆكۈمرانلىق قىلىدۇ ، نىشان پۈركۈش ئاتوملىرى بىر-بىرىدىن ئايرىلىدۇ. .

No.2 يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىت دولقۇنىنىڭ سىرلاش قەۋىتىنىڭ ئالاھىدىلىكى

يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىت دولقۇنى پارچىلىنىش نىسبىتى يۇقىرى ۋە ئىئون ئېنېرگىيىسى يۇقىرى پلازما ھاسىل قىلالايدۇ ھەمدە بىر تەرەپلىمە بېسىم ئىشلىتىپ زەرەتلەنگەن ئىئوننى تېزلىتىدۇ ، سىرنى چۆكۈش جەريانى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك زەررىچىلەر تەرىپىدىن بومبا ھۇجۇمىغا ئۇچرايدۇ ، بۇ تىپىك IPVD تېخنىكىسى.ئىئون ئېنېرگىيىسى ۋە تارقىلىشى سىرنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا ئىنتايىن مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ.
IPVD ھەققىدە ، داڭلىق تورتون قۇرۇلما رايونى ئەندىزىسىنى ئاساس قىلىپ ، ئاندېرس پلازما چۆكمىسى ۋە ئىئون قېتىشىشنى ئۆز ئىچىگە ئالغان قۇرۇلمىلىق رايون ئەندىزىسىنى ئوتتۇرىغا قويدى ، تورتون قۇرۇلما رايونى ئەندىزىسىدىكى سىر قۇرۇلمىسى بىلەن تېمپېراتۇرا ۋە ھاۋا بېسىمىنىڭ مۇناسىۋىتىنى سىرلاش قۇرۇلمىسى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتكە كېڭەيتتى ، 2-رەسىمدە كۆرسىتىلگەندەك تېمپېراتۇرا ۋە ئىئون ئېنېرگىيىسى.چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنىڭ ئۆرلىشىگە ئەگىشىپ ، 1-رايون (بوش تالالىق كرىستال) دىن T رايونغا (قويۇق تالا كىرىستال) ، 2-رايون (تۈۋرۈك كىرىستال) ۋە 3-رايون (قايتا قۇرۇش رايونى) غا ئۆتۈش.چۆكمە ئىئون ئېنېرگىيىسىنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، 1-رايوندىن T رايونغا ، 2-رايون ۋە 3-رايونغا ئۆتۈش تېمپېراتۇرىسى تۆۋەنلەيدۇ.يۇقىرى زىچلىقتىكى تالا كىرىستال ۋە تۈۋرۈك كىرىستالنى تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا تەييارلىغىلى بولىدۇ.ئامانەت قويۇلغان ئىئوننىڭ ئېنىرگىيىسى 1-10 eV نىڭ تەرتىپىگە يەتكەندە ، ئامانەت قويۇلغان قاپارتما يۈزىدىكى ئىئونلارنىڭ بومباردىمان قىلىنىشى ۋە سۈمۈرۈلۈشى كۈچىيىپ ، قېلىنلىقى ئېشىپ كېتىدۇ.

No.3 يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىتلىق پۈركۈش تېخنىكىسى ئارقىلىق قاتتىق سىر قەۋىتىنى تەييارلاش
يۇقىرى قۇۋۋەتلىك تومۇر ماگنىتلىق پۈركۈش تېخنىكىسى تەييارلىغان سىر تېخىمۇ قويۇق بولۇپ ، مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتى ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىسى مۇقىم.3-رەسىمدە كۆرسىتىلگەندەك ، ئادەتتىكى ماگنىت دولقۇنى TiAlN سىرلانغان تۈۋرۈك كىرىستال قۇرۇلما بولۇپ ، قاتتىقلىقى 30 GPa ، Young نىڭ مودۇلى 460 GPa.HIPIMS-TiAlN سىرنىڭ ئېغىرلىقى 34 GPa ، ياشلارنىڭ مودۇلى بولسا 377 GPa.قاتتىقلىق بىلەن ياشنىڭ مودۇلنىڭ نىسبىتى سىرنىڭ قاتتىقلىقىنى ئۆلچەيدىغان ئۆلچەم.قاتتىقلىق ۋە كىچىك ياشنىڭ مودۇلى تېخىمۇ ياخشى قاتتىقلىقنى كۆرسىتىدۇ.HIPIMS-TiAlN سىرنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى تېخىمۇ ياخشى ، AlN ئالتە تەرەپلىك فازا ئادەتتىكى TiAlN سىرتىغا چۆكۈپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا 1000 سېلسىيە گرادۇسلۇق داۋالاشتىن كېيىن 4 سائەت.يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا سىرنىڭ قاتتىقلىقى تۆۋەنلەيدۇ ، HIPIMS-TiAlN سىر بولسا ئوخشاش تېمپېراتۇرا ۋە ۋاقىتتا ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىنغاندىن كېيىن ئۆزگەرمەيدۇ.HIPIMS-TiAlN سىرنىڭمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئوكسىدلىنىشنىڭ باشلىنىش تېمپېراتۇرىسى ئادەتتىكى سىرغا قارىغاندا يۇقىرى.شۇڭلاشقا ، HIPIMS-TiAlN قاپلاش PVD جەرياندا تەييارلانغان باشقا سىرلانغان قوراللارغا قارىغاندا يۇقىرى سۈرئەتلىك كېسىش قوراللىرىدا تېخىمۇ ياخشى ئىقتىدارنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ.