GX600

Обладнання приймає вертикальну структуру передніх дверей і кластерне розташування.Він може бути оснащений джерелами випаровування металів і різних органічних матеріалів, а також може випаровувати кремнієві пластини різних специфікацій.Оснащений системою точного вирівнювання, покриття є стабільним і має хорошу повторюваність.
Обладнання для нанесення покриттів GX600 може точно, рівномірно та контрольовано випаровувати органічні світловипромінювальні матеріали або металеві матеріали на підкладку.Він має переваги простого формування плівки, високої чистоти та високої компактності.Повністю автоматична система моніторингу товщини плівки в реальному часі може забезпечити повторюваність і стабільність процесу.Він оснащений функцією самоплавлення, щоб зменшити залежність від навичок оператора.
Обладнання може застосовуватися до Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti та інших металевих матеріалів і може бути покрито металевою плівкою, плівкою з діелектричним шаром, плівкою IMD тощо. Воно в основному використовується в напівпровідниках. промисловості, як-от силові пристрої, покриття підкладки задньої частини упаковки напівпровідників тощо.