Обладнання об’єднує технологію магнетронного розпилення та резистентного випаровування, а також забезпечує рішення для нанесення покриттів на різноманітні підкладки.
Експериментальне обладнання для нанесення покриттів в основному використовується в університетах і науково-дослідних установах і може відповідати різноманітним експериментальним вимогам.Різні структурні цілі зарезервовані для обладнання, яке можна гнучко конфігурувати для задоволення наукових досліджень і розробок у різних областях.Можна вибрати систему магнетронного розпилення, катодно-дугову систему, систему електронно-променевого випаровування, систему резистивного випаровування, CVD, PECVD, джерело іонів, систему зсуву, систему нагрівання, тривимірне пристосування тощо.Клієнти можуть вибрати відповідно до своїх різних потреб.
Обладнання має характеристики красивого зовнішнього вигляду, компактної конструкції, невеликої площі підлоги, високого ступеня автоматизації, простої та гнучкої роботи, стабільної роботи та легкого обслуговування.
Обладнання може бути застосовано до пластику, нержавіючої сталі, гальванічного обладнання / пластикових деталей, скла, кераміки та інших матеріалів.Можна приготувати прості металеві шари, такі як титан, хром, срібло, мідь, алюміній або металеві сполуки, такі як TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600 (мм) | φ600*H800 (мм) | φ800*H1000 (мм) |