1) Циліндричні мішені мають більш високий коефіцієнт використання, ніж плоскі мішені.У процесі нанесення покриття, незалежно від того, чи це циліндрична мішень для розпилення з обертовим магнітом або циліндричною трубкою, усі частини поверхні цільової трубки безперервно проходять через зону розпилення, створену перед постійним магнітом, для отримання катодного розпилення, і мішень може бути рівномірно напилена травленням, а коефіцієнт використання цілі є високим.Коефіцієнт використання цільових матеріалів становить близько 80% ~ 90%.
2) Циліндричні мішені нелегко виробляти «отруєння мішеней».Під час процесу нанесення покриття поверхня трубки-мішені завжди розпилюється та протравлюється іонами, тому на поверхні непросто накопичувати товсті оксиди та інші ізоляційні плівки, а також непросто спричинити «отруєння мішені».
3) Конструкція циліндричної мішені для розпилення обертової мішені трубчастого типу проста та проста в установці.
4) Матеріал циліндричної цільової трубки має різні типи.плоска мішень з металевою мішенню безпосереднім водяним охолодженням, а деякі не можуть бути оброблені та сформовані циліндричні мішені, такі як мішень In2-SnO2 тощо з порошковим матеріалом для гарячого ізостатичного пресування для отримання пластинчастих мішеней, оскільки розмір не може бути зроблений великий і крихкий, тому необхідно використовувати метод пайки та мідну задню пластину для інтеграції та встановлення на цільову основу.Окрім металевих труб, стовпчасті мішені також можна напилювати на поверхню труб з нержавіючої сталі різними матеріалами, які необхідно покрити, такими як Si, Cr тощо.
В даний час у промисловому виробництві зростає частка циліндричних мішеней для нанесення покриттів.Циліндричні мішені використовуються не тільки для вертикальної машини для нанесення покриттів, але також для використання в машині для нанесення покриття з рулону на рулон.В останні роки планарні подвійні мішені поступово замінюються циліндричними подвійними мішенями.
——Цю статтю опублікувала компанія Guangdong Zhenhua Technology, aвиробник оптичних машин для нанесення покриттів.
Час публікації: 11 травня 2023 р