① Хороша контрольованість і повторюваність товщини плівки
Те, чи можна контролювати товщину плівки на заданому значенні, називається можливістю контролю товщини плівки.Необхідну товщину плівки можна повторювати багато разів, що називається повторюваністю товщини плівки. Оскільки розрядний струм і цільовий струм покриття вакуумним напиленням можна контролювати окремо.Таким чином, товщину напиленої плівки можна контролювати, і плівка з попередньо визначеною товщиною може бути надійно нанесена.Крім того, напилення дозволяє отримати плівку рівномірної товщини на великій поверхні.
② Сильна адгезія між плівкою та підкладкою
Енергія розпорошених атомів на 1-2 порядки перевищує енергію випарених атомів.Перетворення енергії високоенергетичних розпилених атомів, нанесених на підкладку, набагато вище, ніж у випарених атомів, що генерує більше тепла та покращує адгезію між розпиленими атомами та підкладкою.Крім того, деякі високоенергетичні розпилені атоми виробляють різний ступінь інжекції, утворюючи псевдодифузійний шар на підкладці.Крім того, підкладка завжди очищається та активується в області плазми під час процесу формування плівки, що видаляє атоми розпилення зі слабкою адгезією, а також очищає та активує поверхню підкладки.Таким чином, напилена плівка має міцну адгезію до основи.
③ Можна підготувати плівку з нового матеріалу, що відрізняється від цільової
Якщо під час розпилення ввести реактивний газ, щоб він прореагував з мішенню, можна отримати плівку нового матеріалу, яка повністю відрізняється від мішені.Наприклад, кремній використовується як мішень для розпилення, а кисень і аргон подаються у вакуумну камеру разом.Після напилення можна отримати ізоляційну плівку SiOz.Використовуючи титан як мішень для розпилення, азот і аргон поміщаються у вакуумну камеру разом, і після розпилення можна отримати золотоподібну плівку фази TiN.
④ Висока чистота та хороша якість плівки
Оскільки в пристрої для підготовки плівки для напилення немає компонентів тигля, компоненти матеріалу нагрівача тигля не будуть змішуватися в шарі плівки для напилення.Недоліки напилення покриття полягають у тому, що швидкість утворення плівки нижча, ніж у нанесення покриття випаровуванням, температура підкладки вища, на неї легко впливають сторонні гази, а структура пристрою є більш складною.
Цю статтю опублікував Guangdong Zhenhua, виробникобладнання для вакуумного нанесення покриттів
Час публікації: 09 березня 2023 р