Екологічні вимоги до обладнання для вакуумного нанесення покриттів

Оскількиобладнання для вакуумного нанесення покриттівпрацює в умовах вакууму, обладнання повинно відповідати вимогам вакууму для середовища.У галузевих стандартах для різних типів обладнання для вакуумного нанесення покриттів, розроблених у моїй країні (включаючи загальні технічні умови для обладнання для вакуумного нанесення покриттів, обладнання для вакуумного іонного нанесення покриттів, обладнання для нанесення покриттів методом вакуумного напилення та обладнання для нанесення покриттів методом вакуумного випаровування), чітко визначено екологічні вимоги.Лише за умови дотримання екологічних вимог до обладнання для вакуумного покриття обладнання може працювати нормально, а за допомогою правильного процесу покриття можна виробляти кваліфіковані продукти покриття.

Вимоги до вакуумного середовища, як правило, включають вимоги вакуумного обладнання до навколишнього середовища, такі як температура лабораторії (або майстерні), мізерний прибуток у повітрі та вимоги до частин або поверхонь у вакуумному стані або в вакуум.Ці два аспекти тісно пов’язані.Якість навколишнього середовища безпосередньо впливає на нормальне використання вакуумного обладнання, і те, чи буде очищена вакуумна камера вакуумного обладнання або завантажені в нього частини, безпосередньо впливає на продуктивність обладнання.Якщо повітря містить багато водяної пари та пилу, а вакуумну камеру не було очищено, важко досягти бажаного ступеня вакууму за допомогою механічного насоса з масляним ущільненням для накачування повітря.Як ми всі знаємо, механічні насоси з масляним ущільненням не підходять для перекачування газів, які є корозійними для металів, хімічно реактивними з вакуумним маслом і містять тверді частки пилу.Водяна пара є газом, що конденсується.Коли насос викачує велику кількість конденсованого газу, забруднення масла насоса буде більш серйозним.У результаті кінцевий вакуум насоса впаде, а продуктивність насоса буде знищена.

Нормальні умови роботи обладнання для вакуумного покриття:

① Температура навколишнього середовища 10~30 ℃;

② Відносна вологість не більше 70%;

③ Температура охолоджувальної води на вході не вище 25°C;

④ Якість охолоджувальної води Міська водопровідна вода або вода еквівалентної якості;

⑤Напруга живлення: 380 В, трифазне 50 Гц або 220 В, однофазне 50 Гц (залежно від потреб використовуваних електроприладів), діапазон коливань напруги 342 ~ 399 В або 198 ~ 231 В, діапазон коливань частоти 49 ~ 51 Гц;

⑥Тиск, температура та споживання повинні бути вказані в інструкції з експлуатації продукту;

⑦ Навколишнє середовище навколо обладнання чисте, повітря чисте, не повинно бути пилу чи газу, які можуть спричинити корозію поверхні електроприладів та інших металевих частин або викликати електропровідність між металами.

Крім того, лабораторія або майстерня, де розташоване обладнання для вакуумного покриття, повинні підтримуватися в чистоті та гігієні.Підлога терраццо або дерев'яна фарбована підлога, без пилу.Щоб газ, що виходить із механічного насоса, не забруднював лабораторне середовище, його можна використовувати у вихідному отворі насоса.Встановіть на поверхню витяжну трубу (металеву, гумову) для виведення газу назовні.