Технологія плазмово-хімічного осадження з гарячою дугою, що посилюється гарячою дротом, використовує дуговий пістолет для випромінювання дугової плазми, що скорочено називається технологією гарячого дроту PECVD.Ця технологія схожа на технологію нанесення іонного покриття за допомогою гарячої дугової гармати, але відмінність полягає в тому, що тверда плівка, отримана за допомогою іонного покриття за допомогою гарячої дугової гармати, використовує потік електронів дуги, що випромінюється дуговою гарматою для гарячого дроту, для нагрівання та випаровування металу в тигель, в той час як гарячий дріт, дугове світло PECVD, подається реакційними газами, такими як CH4 і H2, які використовуються для осадження алмазних плівок.Завдяки струму дугового розряду високої щільності, що випромінюється дуговою гарматою з гарячим дротом, активні іони газу збуджуються для отримання різних активних частинок, включаючи іони газу, атомарні іони, активні групи тощо.
У пристрої PECVD з гарячою дугою дві електромагнітні котушки все ще встановлені поза приміщенням для нанесення покриття, що змушує потік електронів з високою щільністю обертатися під час руху до анода, збільшуючи ймовірність зіткнення та іонізації між потоком електронів і реакційним газом. .Електромагнітна котушка також може об’єднуватися в стовп дуги, щоб збільшити щільність плазми всієї камери осадження.У дуговій плазмі щільність цих активних частинок висока, що полегшує нанесення алмазної плівки та інших шарів плівки на заготовку.
——Цю статтю опублікувала компанія Guangdong Zhenhua Technology, aвиробник оптичних машин для нанесення покриттів.
Час публікації: травень-05-2023