Які джерела забруднення обладнання для вакуумного нанесення покриттів

Theобладнання для вакуумного нанесення покриттівскладається з багатьох точних деталей, які виготовляються за допомогою багатьох процесів, таких як зварювання, шліфування, точіння, стругання, розточування, фрезерування тощо.Через ці роботи поверхня деталей обладнання неминуче буде забруднена деякими забруднювачами, такими як жир, масляний бруд, металева стружка, зварювальний флюс, полірувальна паста, сліди від поту тощо.Ці забруднювачі легко випаровуються в умовах вакууму, таким чином впливаючи на кінцевий вакуум обладнання.

Крім того, ці вакуумні забруднювачі від механічної обробки поглинають велику кількість газу в середовищі атмосферного тиску, і в стані вакууму ці раніше адсорбовані гази також будуть вивільнені знову, стаючи основним фактором, що обмежує граничний вакуум.З цієї причини забруднювачі повинні бути видалені перед складанням частин машини для вакуумного покриття.

Під час використання вакуумного обладнання його компоненти також будуть забруднені.Однак забруднення з цього джерела в основному спричинене умовами використання та вакуумним насосом.

1. Випаровування нитки вакуумметра в умовах високої температури призведе до утворення плівки на керамічному ізоляторі, що певною мірою пошкодить його міцність ізоляції, а також матиме певний вплив на точність його вимірювання. вимірювання;

2. Внаслідок високотемпературного випаровування на поверхні біля нитки електронної гармати у вакуумі утворюватиметься металева плівка;

3. Через розпилення заготовки внутрішня стінка обладнання для травлення іонним променем буде забруднена бризками;

4. Внутрішня стінка обладнання для покриття вакуумним випаровуванням буде забруднена матеріалом мішені для випаровування;

5. Часто використовується система вакуумного сушіння, і система буде забруднена речовинами, що випаровуються;

6. Масло дифузійного насоса та масло механічного насоса в обладнанні для вакуумного покриття також є основним джерелом забруднення.Після того, як машина для нанесення покриття працювала протягом тривалого часу, всередині обладнання може утворитися масляна плівка.

Підводячи підсумок, вакуумна санітарія обладнання включає вакуумне обладнання, вакуумну систему, виробництво вакуумного процесу та інші аспекти та зв’язки, а також вимоги до самого обладнання для вакуумного покриття та спеціального вакуумного процесу щодо умов використання.Таким чином, вакуумне забруднення є проблемою, яка заслуговує на увагу, оскільки ці забруднення впливатимуть на продуктивність обладнання, тому слід приділяти увагу регулярному чи будь-якому очищенню.