Що таке покриття джерела стійкості до випаровування?

Резистивне покриття джерела випаровування є основним методом нанесення покриття вакуумним випаровуванням.«Випаровування» означає метод підготовки тонкої плівки, за якого матеріал покриття у вакуумній камері нагрівається та випаровується, таким чином атоми або молекули матеріалу випаровуються та виходять із поверхні, утворюючи явище потоку пари, що падає на поверхню підкладку або підкладку, і, нарешті, конденсується з утворенням суцільної плівки.

Так званий метод нанесення покриття джерела випаровування полягає у використанні танталу, молібдену, вольфраму та інших металів з високою температурою плавлення для створення відповідної форми джерела випаровування, яке завантажується матеріалами для випаровування, пропускає повітря, безпосередньо нагріває та випарити випарені матеріали або помістити матеріали, які потрібно випарити, у оксид алюмінію, оксид берилію та інші тиглі для непрямого нагрівання та випаровування.Це метод резистивного нагріву випаровування.

Theмашина для нанесення покриття вакуумним випаровуваннямнагрівання та випаровування нагрівачем опору має переваги простої структури, низької вартості та надійного використання.Його можна використовувати для напилення матеріалів з низькою температурою плавлення, особливо для масового виробництва з низькими вимогами до якості покриття.На даний момент у виробництві алюмінізірованних дзеркал все ще використовується велика кількість процесів нанесення покриттів нагрівання та випаровування.

Недоліки методу нанесення покриття з джерела випаровування полягають у тому, що максимальна температура, яку можна досягти при нагріванні, обмежена, а також короткий термін служби нагрівача.В останні роки, щоб покращити термін служби опорного джерела випаровування, фабрика обладнання прийняла електропровідний керамічний матеріал, синтезований нітридом бору, з тривалим терміном служби як джерело випаровування.Згідно з японським патентним звітом, він може використовувати матеріали, що складаються з 20%~30% нітриду бору, і вогнетривкі матеріали, які можна сплавити з ним, щоб зробити джерело випаровування (тигель), і покрити його поверхню шаром цирконію, що містить 62% ~82%, а решта - матеріали зі сплаву цирконій-кремній.