Ця серія обладнання використовує магнетронні мішені для перетворення матеріалів покриття в частинки нанометрового розміру, які осідають на поверхні підкладок, утворюючи тонкі плівки.Згорнуту плівку поміщають у вакуумну камеру.Через структуру намотування з електричним приводом один кінець отримує плівку, а інший кладе плівку.Він продовжує проходити через цільову область і приймає цільові частинки, утворюючи щільну плівку.
характеристика:
1. Низькотемпературне формування плівки.Температура мало впливає на плівку і не викликає деформації.Він підходить для ПЕТ, ПІ та інших рулонних плівок основного матеріалу.
2. Товщина плівки може бути розроблена.Тонкі або товсті покриття можуть бути розроблені та нанесені шляхом регулювання процесу.
3. Дизайн кількох цільових місць, гнучкий процес.Всю машину можна оснастити вісьмома мішенями, які можна використовувати як прості металеві мішені або складні та оксидні мішені.Він може бути використаний для виготовлення одношарових плівок з єдиною структурою або багатошарових плівок з композитною структурою.Процес дуже гнучкий.
Обладнання може готувати електромагнітну екрануючу плівку, покриття гнучкої друкованої плати, різні діелектричні плівки, багатошарову антивідблискову плівку AR, плівку з високим антивідблиском HR, кольорову плівку тощо. Обладнання має дуже широкий спектр застосування та осадження одношарової плівки можна завершити одноразовим осадженням плівки.
Обладнання може використовувати прості металеві мішені, такі як Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl тощо, або складні мішені, такі як SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO тощо.
Обладнання має невеликі розміри, компактну конструкцію, малу площу підлоги, низьке енергоспоживання та гнучке налаштування.Він дуже підходить для технологічних досліджень і розробок або невеликого масового виробництва.