سپٹرنگ کوٹنگ فلموں کی خصوصیات

① فلم کی موٹائی کی اچھی کنٹرول اور ریپیٹ ایبلٹی

آیا فلم کی موٹائی کو پہلے سے طے شدہ قیمت پر کنٹرول کیا جا سکتا ہے، اسے فلم کی موٹائی کنٹرول ایبلٹی کہا جاتا ہے۔مطلوبہ فلم کی موٹائی کو کئی بار دہرایا جا سکتا ہے، جسے فلم کی موٹائی ریپیٹ ایبلٹی کہا جاتا ہے۔ کیونکہ ویکیوم سپٹرنگ کوٹنگ کے ڈسچارج کرنٹ اور ٹارگٹ کرنٹ کو الگ الگ کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔لہذا، اسپٹرڈ فلم کی موٹائی قابل کنٹرول ہے، اور پہلے سے طے شدہ موٹائی والی فلم کو قابل اعتماد طریقے سے جمع کیا جاسکتا ہے۔اس کے علاوہ، سپٹر کوٹنگ ایک بڑی سطح پر یکساں موٹائی والی فلم حاصل کر سکتی ہے۔

② فلم اور سبسٹریٹ کے درمیان مضبوط آسنجن

پھٹے ہوئے ایٹموں کی توانائی بخارات سے بنی ہوئی ایٹموں سے 1-2 آرڈرز زیادہ ہے۔سبسٹریٹ پر جمع ہونے والے ہائی انرجی سپٹرڈ ایٹموں کی توانائی کی تبدیلی بخارات سے بنی ہوئی ایٹموں کی نسبت بہت زیادہ ہے، جو زیادہ گرمی پیدا کرتی ہے اور پھٹے ہوئے ایٹموں اور سبسٹریٹ کے درمیان چپکنے کو بڑھاتی ہے۔اس کے علاوہ، کچھ اعلی توانائی کے پھٹنے والے ایٹم مختلف درجے کے انجیکشن پیدا کرتے ہیں، جو سبسٹریٹ پر سیوڈوڈفیوژن پرت بناتے ہیں۔اس کے علاوہ، فلم بنانے کے عمل کے دوران پلازما کے علاقے میں سبسٹریٹ کو ہمیشہ صاف اور چالو کیا جاتا ہے، جو کمزور چپکنے والے ایٹموں کو ہٹاتا ہے، اور سبسٹریٹ کی سطح کو صاف اور فعال کرتا ہے۔لہذا، پھٹی ہوئی فلم سبسٹریٹ کے ساتھ مضبوط چپکتی ہے۔

③ ہدف سے مختلف نئی مادی فلم تیار کی جا سکتی ہے۔

اگر اسپٹرنگ کے دوران ری ایکٹیو گیس متعارف کرائی جائے تاکہ ہدف کے ساتھ اس کا رد عمل ہو، تو ہدف سے بالکل مختلف ایک نئی مادی فلم حاصل کی جا سکتی ہے۔مثال کے طور پر، سلکان کو پھٹنے والے ہدف کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے، اور آکسیجن اور آرگن ایک ساتھ ویکیوم چیمبر میں ڈالے جاتے ہیں۔سپٹرنگ کے بعد، SiOz موصل فلم حاصل کی جا سکتی ہے.ٹائٹینیم کو سپٹرنگ ٹارگٹ کے طور پر استعمال کرتے ہوئے، نائٹروجن اور ارگون کو ایک ساتھ ویکیوم چیمبر میں ڈالا جاتا ہے، اور فیز TiN گولڈ نما فلم پھٹنے کے بعد حاصل کی جا سکتی ہے۔

④ اعلی طہارت اور فلم کے اچھے معیار

چونکہ اسپٹرنگ فلم کی تیاری کے آلے میں کوئی کروسیبل جزو نہیں ہے، اس لیے کروسیبل ہیٹر میٹریل کے اجزاء کو پھٹنے والی فلم کی تہہ میں نہیں ملایا جائے گا۔اسپٹرنگ کوٹنگ کے نقصانات یہ ہیں کہ فلم بنانے کی رفتار بخارات کی کوٹنگ کی نسبت سست ہے، سبسٹریٹ کا درجہ حرارت زیادہ ہے، ناپاک گیس سے متاثر ہونا آسان ہے، اور ڈیوائس کی ساخت زیادہ پیچیدہ ہے۔

یہ مضمون گوانگ ڈونگ زینہوا کی طرف سے شائع کیا گیا ہے، جو ایک کارخانہ دار ہے۔ویکیوم کوٹنگ کا سامان