پلازما براہ راست پولیمرائزیشن کا عمل

پلازما براہ راست پولیمرائزیشن کا عمل

اندرونی الیکٹروڈ پولیمرائزیشن آلات اور بیرونی الیکٹروڈ پولیمرائزیشن آلات دونوں کے لیے پلازما پولیمرائزیشن کا عمل نسبتاً آسان ہے، لیکن پلازما پولیمرائزیشن میں پیرامیٹر کا انتخاب زیادہ اہم ہے، کیونکہ پلازما پولیمرائزیشن کے دوران پولیمر فلموں کی ساخت اور کارکردگی پر پیرامیٹرز کا زیادہ اثر پڑتا ہے۔

براہ راست پلازما پولیمرائزیشن کے آپریشن کے اقدامات درج ذیل ہیں:

(1) ویکیومنگ

ویکیوم حالات میں پولیمرائزیشن کے بیک گراؤنڈ ویکیوم کو 1.3×10-1Pa پر پمپ کیا جانا چاہیے۔پولیمرائزیشن ری ایکشنز کے لیے جو آکسیجن یا نائٹروجن مواد کو کنٹرول کرنے کے لیے خصوصی تقاضوں کی ضرورت ہوتی ہے، پس منظر ویکیوم کی ضرورت اس سے بھی زیادہ ہوتی ہے۔

(2) چارج ری ایکشن مونومر یا کیریئر گیس اور مونومر کی مخلوط گیس

ویکیوم ڈگری 13-130Pa ہے۔پلازما پولیمرائزیشن کے لیے کام کی ضرورت ہوتی ہے، مناسب بہاؤ کنٹرول موڈ اور بہاؤ کی شرح کا انتخاب کیا جائے گا، عام طور پر 10.100mL/min۔پلازما میں، مونومر مالیکیولز توانائی بخش ذرات کی بمباری سے آئنائزڈ اور الگ ہوجاتے ہیں، جس کے نتیجے میں فعال ذرات جیسے آئن اور فعال جین پیدا ہوتے ہیں۔پلازما کے ذریعہ فعال ہونے والے فعال ذرات گیس کے مرحلے اور ٹھوس مرحلے کے انٹرفیس پر پلازما پولیمرائزیشن سے گزر سکتے ہیں۔مونومر پلازما پولیمرائزیشن کے لیے پیش خیمہ کا ذریعہ ہے، اور ان پٹ ری ایکشن گیس اور مونومر میں مخصوص پاکیزگی ہوگی۔

(3) اتیجیت بجلی کی فراہمی کا انتخاب

پولیمرائزیشن کے لیے پلازما ماحول فراہم کرنے کے لیے DC، ہائی فریکوئنسی، RF، یا مائکروویو پاور ذرائع کا استعمال کرتے ہوئے پلازما تیار کیا جا سکتا ہے۔بجلی کی فراہمی کا انتخاب پولیمر کی ساخت اور کارکردگی کی ضروریات کی بنیاد پر طے کیا جاتا ہے۔

(4) ڈسچارج موڈ کا انتخاب

پولیمر کی ضروریات کے لئے، پلازما پولیمرائزیشن دو خارج ہونے والے طریقوں کا انتخاب کر سکتا ہے: مسلسل خارج ہونے والے مادہ یا پلس خارج ہونے والے مادہ.

(5) خارج ہونے والے پیرامیٹرز کا انتخاب

پلازما پولیمرائزیشن کرتے وقت، ڈسچارج پیرامیٹرز کو پلازما پیرامیٹرز، پولیمر کی خصوصیات اور ساخت کی ضروریات پر غور کرنے کی ضرورت ہے۔پولیمرائزیشن کے دوران لاگو ہونے والی طاقت کی شدت کا تعین ویکیوم چیمبر کے حجم، الیکٹروڈ سائز، مونومر فلو ریٹ اور ڈھانچہ، پولیمرائزیشن کی شرح، اور پولیمر کی ساخت اور کارکردگی سے کیا جاتا ہے۔مثال کے طور پر، اگر رد عمل کے چیمبر کا حجم 1L ہے اور RF پلازما پولیمرائزیشن کو اپنایا گیا ہے، تو خارج ہونے والی طاقت 10~30W کی حد میں ہوگی۔ایسے حالات میں، پیدا ہونے والا پلازما ورک پیس کی سطح پر ایک پتلی فلم بنانے کے لیے جمع ہو سکتا ہے۔پلازما پولیمرائزیشن فلم کی ترقی کی شرح بجلی کی فراہمی، مونومر کی قسم اور بہاؤ کی شرح، اور عمل کے حالات کے ساتھ مختلف ہوتی ہے۔عام طور پر، شرح نمو 100nm/min ~ 1um/min ہوتی ہے۔

(6) پلازما پولیمرائزیشن میں پیرامیٹر کی پیمائش

پلازما پولیمرائزیشن میں ماپا جانے والے پلازما پیرامیٹرز اور عمل کے پیرامیٹرز میں شامل ہیں: ڈسچارج وولٹیج، ڈسچارج کرنٹ، ڈسچارج فریکوئنسی، الیکٹران کا درجہ حرارت، کثافت، ردعمل گروپ کی قسم اور ارتکاز وغیرہ۔

——یہ مضمون گوانگ ڈونگ زینہوا ٹیکنالوجی نے جاری کیا تھا۔آپٹیکل کوٹنگ مشینیں بنانے والا.