سپٹرنگ کوٹنگ مشین کا عمل بہاؤ

1. بمباری کی صفائی کا سبسٹریٹ

1.1) سپٹرنگ کوٹنگ مشین سبسٹریٹ کو صاف کرنے کے لیے گلو ڈسچارج کا استعمال کرتی ہے۔کہنے کا مطلب یہ ہے کہ آرگن گیس کو چیمبر میں چارج کریں، ڈسچارج وولٹیج تقریباً 1000V ہے، پاور سپلائی آن کرنے کے بعد، ایک گلو ڈسچارج پیدا ہوتا ہے، اور سبسٹریٹ کو آرگن آئن بمباری سے صاف کیا جاتا ہے۔

1.2) سپٹرنگ کوٹنگ مشینوں میں جو صنعتی طور پر اعلیٰ درجے کے زیورات تیار کرتی ہیں، چھوٹے آرک ذرائع سے خارج ہونے والے ٹائٹینیم آئن زیادہ تر صفائی کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔سپٹرنگ کوٹنگ مشین ایک چھوٹے آرک سورس سے لیس ہے، اور چھوٹے آرک سورس ڈسچارج سے پیدا ہونے والے آرک پلازما میں ٹائٹینیم آئن اسٹریم کو بمباری اور سبسٹریٹ کو صاف کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔

2. ٹائٹینیم نائٹرائیڈ کوٹنگ

ٹائٹینیم نائٹرائڈ پتلی فلموں کو جمع کرتے وقت، سپٹرنگ کے لئے ہدف مواد ٹائٹینیم ہدف ہے.ہدف کا مواد سپٹرنگ پاور سپلائی کے منفی الیکٹروڈ سے منسلک ہے، اور ہدف وولٹیج 400~500V ہے۔آرگن فلوکس فکسڈ ہے، اور کنٹرول ویکیوم (3~8) x10 ہے۔^-1PAسبسٹریٹ 100~200V کے وولٹیج کے ساتھ، بائیس پاور سپلائی کے منفی الیکٹروڈ سے منسلک ہے۔

اسپٹرنگ ٹائٹینیم ٹارگٹ کی پاور سپلائی کو آن کرنے کے بعد، ایک گلو ڈسچارج پیدا ہوتا ہے، اور ہائی انرجی آرگن آئنز اسپٹرنگ ٹارگٹ پر بمباری کرتے ہیں، ٹائٹینیم ایٹموں کو ٹارگٹ سے چھڑکتے ہیں۔

رد عمل گیس نائٹروجن متعارف کرایا جاتا ہے، اور ٹائٹینیم ایٹم اور نائٹروجن کوٹنگ چیمبر میں ٹائٹینیم آئنوں اور نائٹروجن آئنوں میں آئنائز کیا جاتا ہے۔سبسٹریٹ پر لگائے جانے والے منفی تعصب برقی میدان کی کشش کے تحت، ٹائٹینیم آئن اور نائٹروجن آئن سبسٹریٹ کی سطح پر کیمیائی رد عمل اور جمع کرنے کے لیے تیزی سے ٹائٹینیم نائٹرائڈ فلم کی تہہ بناتے ہیں۔

3. سبسٹریٹ نکالیں۔

پہلے سے طے شدہ فلم کی موٹائی تک پہنچنے کے بعد، سپٹرنگ پاور سپلائی، سبسٹریٹ بائیس پاور سپلائی، اور ہوا کا ذریعہ بند کر دیں۔سبسٹریٹ کا درجہ حرارت 120 ℃ سے کم ہونے کے بعد، کوٹنگ چیمبر کو ہوا سے بھریں اور سبسٹریٹ کو باہر نکال دیں۔

یہ مضمون کی طرف سے شائع کیا جاتا ہےمیگنیٹران سپٹرنگ کوٹنگ مشین بنانے والا- گوانگ ڈونگ زینہوا