کھوکھلی کیتھوڈ آئن کوٹنگ کا عمل

کھوکھلی کیتھوڈ آئن کوٹنگ کا عمل مندرجہ ذیل ہے:

1، ٹھوڑی کے انگوٹھے کو گرنے میں ڈالیں۔

2، ورک پیس کو بڑھانا۔

3、5×10-3Pa پر خالی کرنے کے بعد، آرگن گیس سلور ٹیوب سے کوٹنگ چیمبر میں داخل کی جاتی ہے، اور ویکیوم لیول تقریباً 100Pa ہے۔

4، تعصب کی طاقت کو آن کریں۔

5، کھوکھلی کیتھوڈ ڈسچارج کو بھڑکانے کے لیے آرک پاور آن کرنے کے بعد۔ بٹن ٹیوب میں گلو ڈسچارج پیدا ہوتا ہے، ڈسچارج وولٹیج 800~1000V ہے، آرک اٹھانے والا کرنٹ 30~50A ہے۔ چمک کے کھوکھلے کیتھوڈ اثر کی وجہ سے ڈسچارج، ہائی گلو ڈسچارج کرنٹ کثافت، سلور ٹیوب میں چوہے کے آئنوں کی زیادہ کثافت وینٹیج ٹیوب کی دیوار پر بمباری کرتی ہے، الیکٹران کے بہاؤ کے اخراج تک ٹیوب کی دیوار کو تیزی سے گرم بناتی ہے، گلو ڈسچارج سے ڈسچارج موڈ میں اچانک تبدیلی آرک ڈسچارج، وولٹیج 40 ~ 70V ہے، کرنٹ 80 ~ 300A ہے۔ سلور ٹیوب کا درجہ حرارت 2300K، تاپدیپت، ٹیوب سے آرک الیکٹران کی ایک اعلی کثافت والی ندی خارج کرتا ہے، اور انوڈ پر گولی مار دی جاتی ہے۔

6، ویکیوم لیول کی ایڈجسٹمنٹ۔ کھوکھلی کیتھوڈ گن سے گلو ڈسچارج کے لیے ویکیوم لیول تقریباً 100 Pa ہے، اور کوٹنگ کی ویکیوم ڈگری 8×10-1~2Pa ہے۔ اس لیے، آرک ڈسچارج کے اگنیشن کے بعد، آنے والے آرگن کو کم کریں۔ جتنی جلدی ممکن ہو گیس، ویکیوم لیول کو کوٹنگ کے لیے موزوں رینج میں ایڈجسٹ کریں۔

7、ٹائٹینیم چڑھایا بیس پرت۔ الیکٹران کا بہاؤ انوڈیکل طور پر منہدم ہونے والی چِن میٹل انگوٹ پر، حرکی توانائی کو تھرمل توانائی میں تبدیل کرنا، گرم کرنے سے چن میٹل کا بخارات، بخارات کے ایٹم ٹائٹینیم فلم بنانے کے لیے ورک پیس تک پہنچتے ہیں۔

8、TiN کا ذخیرہ۔ نائٹروجن گیس کوٹنگ چیمبر کو فراہم کی جاتی ہے، نائٹروجن گیس اور بخارات سے بنی ہوئی ایٹموں کو نائٹروجن اور ٹائٹینیم آئنوں میں آئنائز کیا جاتا ہے۔ کروسیبل کے اوپر، ٹائٹینیم بخارات کے غیر لچکدار تصادم کا زیادہ امکان، الیکٹرو سٹریمنس کے ساتھ دھات کے انحطاط کی شرح 20% ~ 40% تک زیادہ ہے۔، ٹائٹینیم آئنوں کا کیمیائی طور پر رد عمل گیس نائٹروجن، نائٹرائڈ مینٹل فلم کی تہہ حاصل کرنے کے لیے جمع ہونے کا امکان زیادہ ہوتا ہے۔ کھوکھلی کیتھوڈ گن دونوں بخارات کا ذریعہ ہے，ایک اور ذریعہ کوٹنگ کے دوران، کروسیبل کے ارد گرد برقی مقناطیسی کنڈلی کے کرنٹ کو بھی ایڈجسٹ کیا جانا چاہیے، الیکٹران بیم کو گرنے کے مرکز پر مرکوز کریں، اس طرح، الیکٹران کے بہاؤ کی طاقت کی کثافت بڑھ جاتی ہے۔

9، پاور آف۔ فلم کی موٹائی پہلے سے طے شدہ فلم کی موٹائی تک پہنچنے کے بعد، آرک پاور سپلائی بند کریں، بائیس پاور سپلائی اور ایئر سپلائی۔