کیتھوڈک آرک سورس آئن کوٹنگ کا عمل بنیادی طور پر دیگر کوٹنگ ٹیکنالوجیز جیسا ہی ہے، اور کچھ آپریشنز جیسے کہ ورک پیسز کو انسٹال کرنا اور ویکیومنگ کو اب دہرایا نہیں جاتا۔
1. workpieces کی بمباری کی صفائی
کوٹنگ سے پہلے، آرگن گیس کوٹنگ چیمبر میں 2×10-2Pa کے ویکیوم کے ساتھ متعارف کرایا جاتا ہے۔
20% کے ڈیوٹی سائیکل اور 800-1000V کے ورک پیس تعصب کے ساتھ، پلس بائیس پاور سپلائی کو آن کریں۔
جب آرک پاور کو آن کیا جاتا ہے تو، ایک کولڈ فیلڈ آرک لائٹ ڈسچارج پیدا ہوتا ہے، جو آرک سورس سے بڑی مقدار میں الیکٹران کرنٹ اور ٹائٹینیم آئن کرنٹ خارج کرتا ہے، جس سے ہائی ڈینسٹی پلازما بنتا ہے۔ٹائٹینیم آئن ورک پیس پر لگائے جانے والے منفی اعلی تعصب کے دباؤ کے تحت ورک پیس میں اپنے انجیکشن کو تیز کرتا ہے، ورک پیس کی سطح پر جذب ہونے والی بقایا گیس اور آلودگیوں پر بمباری اور پھٹنا، اور ورک پیس کی سطح کو صاف اور صاف کرتا ہے۔ایک ہی وقت میں، کوٹنگ چیمبر میں کلورین گیس الیکٹرانوں کے ذریعہ آئنائز ہوتی ہے، اور آرگن آئن ورک پیس کی سطح پر بمباری کو تیز کرتے ہیں۔
لہذا، بمباری کی صفائی کا اثر اچھا ہے.بمباری کی صرف 1 منٹ کی صفائی ہی ورک پیس کو صاف کر سکتی ہے، جسے "مین آرک بمباری" کہا جاتا ہے۔ٹائٹینیم آئنوں کی زیادہ مقدار کی وجہ سے، اگر ایک چھوٹا سا آرک ذریعہ بمباری کرنے اور ورک پیس کو زیادہ دیر تک صاف کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، تو ورک پیس کا درجہ حرارت زیادہ گرم ہونے کا خطرہ ہے، اور ٹول کا کنارہ نرم ہو سکتا ہے۔عام پیداوار میں، چھوٹے قوس کے ذرائع کو اوپر سے نیچے تک ایک ایک کرکے آن کیا جاتا ہے، اور ہر چھوٹے آرک سورس میں بمباری کی صفائی کا وقت تقریباً 1 منٹ ہوتا ہے۔
（1） کوٹنگ ٹائٹینیم نیچے کی پرت
فلم اور سبسٹریٹ کے درمیان آسنجن کو بہتر بنانے کے لیے، خالص ٹائٹینیم سبسٹریٹ کی ایک پرت کو عام طور پر ٹائٹینیم نائٹرائڈ کوٹنگ کرنے سے پہلے لیپت کیا جاتا ہے۔ویکیوم لیول کو 5×10-2-3×10-1Pa پر ایڈجسٹ کریں، ورک پیس بائیس وولٹیج کو 400-500V پر ایڈجسٹ کریں، اور پلس بائیس پاور سپلائی کے ڈیوٹی سائیکل کو 40%~50% پر ایڈجسٹ کریں۔پھر بھی سرد فیلڈ آرکنگ ڈسچارج پیدا کرنے کے لیے ایک ایک کر کے چھوٹے آرک ذرائع کو بھڑکا رہا ہے۔ورک پیس کے منفی تعصب وولٹیج میں کمی کی وجہ سے، ٹائٹینیم آئنوں کی توانائی کم ہو جاتی ہے۔ورک پیس تک پہنچنے کے بعد، سپٹرنگ اثر جمع اثر سے کم ہوتا ہے، اور ٹائٹینیم نائٹرائڈ ہارڈ فلم پرت اور سبسٹریٹ کے درمیان بانڈنگ فورس کو بہتر بنانے کے لیے ورک پیس پر ٹائٹینیم ٹرانزیشن پرت بنتی ہے۔یہ عمل ورک پیس کو گرم کرنے کا عمل بھی ہے۔جب خالص ٹائٹینیم ٹارگٹ خارج ہوتا ہے، تو پلازما میں روشنی نیلی نیلی ہوتی ہے۔
1. امونیٹیڈ کٹورا ہارڈ فلم کوٹنگ
ویکیوم ڈگری کو 3×10 پر ایڈجسٹ کریں۔-1-5Pa، ورک پیس بائیس وولٹیج کو 100-200V میں ایڈجسٹ کریں، اور پلس بائیس پاور سپلائی کے ڈیوٹی سائیکل کو 70%~80% پر ایڈجسٹ کریں۔نائٹروجن متعارف کرائے جانے کے بعد، ٹائٹینیم آرک ڈسچارج پلازما کے ساتھ ٹائٹینیم نائٹرائڈ ہارڈ فلم کو جمع کرنے کے لیے مرکب ردعمل ہے۔اس مقام پر، ویکیوم چیمبر میں پلازما کی روشنی چیری سرخ ہے۔اگر سی2H2،او2، وغیرہ متعارف کرائے گئے ہیں، TiCN، TiO2وغیرہ فلم کی تہوں کو حاصل کیا جا سکتا ہے۔
-یہ مضمون گوانگ ڈونگ زینہوا کے ذریعہ جاری کیا گیا تھا۔ویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والا
پوسٹ ٹائم: جون 01-2023