ویکیوم کوٹنگ مشین کے عمل کیا ہیں؟کام کرنے کا اصول کیا ہے؟

دیویکیوم کوٹنگمشین کے عمل کو اس میں تقسیم کیا گیا ہے: ویکیوم بخارات کی کوٹنگ، ویکیوم اسپٹرنگ کوٹنگ اور ویکیوم آئن کوٹنگ۔

1، ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ

ویکیوم کنڈیشن کے تحت، مواد کو بخارات بنا دیں، جیسے دھات، دھاتی مرکب وغیرہ، پھر انہیں سبسٹریٹ سطح پر جمع کریں، بخارات کی کوٹنگ کا طریقہ اکثر مزاحمتی حرارتی نظام کا استعمال ہوتا ہے، اور پھر کوٹنگ کے مواد پر الیکٹران بیم کی بمباری، انہیں بناتا ہے۔ گیس کے مرحلے میں بخارات بنتے ہیں، پھر سبسٹریٹ کی سطح پر جمع ہوتے ہیں، تاریخی طور پر، ویکیوم ویپر ڈیپوزیشن PVD طریقہ میں استعمال ہونے والی پہلے کی ٹیکنالوجی ہے۔

2، سپٹرنگ کوٹنگ

گیس کو (Ar) سے بھرے ویکیوم حالات کے تحت ایک چمکدار مادہ کا نشانہ بنایا جاتا ہے، اس وقت آرگن (Ar) ایٹم آئن نائٹروجن آئنوں (Ar) میں بدل جاتا ہے، آئن برقی میدان کی قوت سے تیز ہوتے ہیں، اور کیتھوڈ ہدف پر بمباری کرتے ہیں۔ کوٹنگ میٹریل سے بنایا گیا ہے، ہدف کو باہر نکال کر سبسٹریٹ سطح پر جمع کر دیا جائے گا سپٹر کوٹنگ میں واقعہ آئنز، عام طور پر گلو ڈسچارج کے ذریعے حاصل کیے جاتے ہیں، 10-2pa سے 10Pa کی حد میں ہوتے ہیں، اس لیے پھٹے ہوئے ذرات آپس میں ٹکراتے ہیں۔ سبسٹریٹ کی طرف پرواز کرتے وقت ویکیوم چیمبر میں گیس کے مالیکیولز کے ساتھ، حرکت کی سمت بے ترتیب اور جمع شدہ فلم کو یکساں بنانا آسان بناتا ہے۔

3، آئن کوٹنگ

ویکیوم کنڈیشنز کے تحت، ویکیوم کنڈیشن کے تحت، کوٹنگ میٹریل ایٹموں کو جزوی طور پر آئنائز کرنے کے لیے پلازما آئنائزیشن کی ایک مخصوص تکنیک کا استعمال کیا جاتا ہے۔ ایک ہی وقت میں بہت سے ہائی انرجی نیوٹرل ایٹم پیدا ہوتے ہیں ，جو سبسٹریٹ پر منفی طور پر متعصب ہوتے ہیں۔ اس طرح، آئنز ایک پتلی فلم بنانے کے لیے گہرے منفی تعصب کے تحت ذیلی سطح پر جمع کیے جاتے ہیں۔