آئن چڑھانا مشین کا کام کرنے کا اصول کیا ہے؟

آئن کوٹنگآلہ 1960 کی دہائی میں DM Mattox کے تجویز کردہ نظریہ سے شروع ہوا، اور اسی وقت اس سے متعلقہ تجربات شروع ہوئے۔1971 تک، چیمبرز اور دیگر نے الیکٹران بیم آئن چڑھانا کی ٹیکنالوجی شائع کی۔Reactive evaporation plating (ARE) ٹیکنالوجی کی نشاندہی 1972 میں بنشاہ رپورٹ میں کی گئی تھی، جب انتہائی سخت فلموں کی قسمیں جیسے TiC اور TiN تیار کی گئی تھیں۔1972 میں بھی، سمتھ اور مولی نے کوٹنگ کے عمل میں کھوکھلی کیتھوڈ ٹیکنالوجی کو اپنایا۔1980 کی دہائی تک، چین میں آئن چڑھانا بالآخر صنعتی اطلاق کی سطح تک پہنچ گیا تھا، اور کوٹنگ کے عمل جیسے ویکیوم ملٹی آرک آئن پلیٹنگ اور آرک ڈسچارج آئن چڑھانا یکے بعد دیگرے نمودار ہوئے تھے۔

ویکیوم آئن چڑھانا کا پورا کام کرنے کا عمل مندرجہ ذیل ہے: سب سے پہلے،پمپویکیوم چیمبر، اور پھرانتظار کروویکیوم پریشر 4X10 ⁻ ³ Paیا بہتر؟ہائی وولٹیج پاور سپلائی کو جوڑنا اور سبسٹریٹ اور بخارات کے درمیان کم وولٹیج خارج ہونے والی گیس کا کم درجہ حرارت پلازما ایریا بنانا ضروری ہے۔سبسٹریٹ الیکٹروڈ کو 5000V DC منفی ہائی وولٹیج کے ساتھ جوڑیں تاکہ کیتھوڈ کا گلو ڈسچارج بن سکے۔غیر فعال گیس کے آئن منفی چمک کے علاقے کے قریب پیدا ہوتے ہیں۔وہ کیتھوڈ تاریک علاقے میں داخل ہوتے ہیں اور برقی میدان سے تیز ہوتے ہیں اور سبسٹریٹ کی سطح پر بمباری کرتے ہیں۔یہ صفائی کا عمل ہے، اور پھر کوٹنگ کے عمل میں داخل ہوں۔بمباری حرارتی اثر کے ذریعے، کچھ چڑھانے والے مواد بخارات بن جاتے ہیں۔پلازما ایریا پروٹون میں داخل ہوتا ہے، الیکٹرانز اور انریٹ گیس آئنوں سے ٹکرا جاتا ہے، اور ان کا ایک چھوٹا سا حصہ آئنائزڈ ہو جاتا ہے، یہ آئنائزڈ آئن زیادہ توانائی کے ساتھ فلم کی سطح پر بمباری کریں گے اور فلم کے معیار کو کسی حد تک بہتر کریں گے۔

ویکیوم آئن چڑھانا کا اصول یہ ہے: ویکیوم چیمبر میں، گیس خارج ہونے والے مادے یا بخارات والے مواد کے آئنائزڈ حصے کا استعمال کرتے ہوئے، بخارات والے مواد کے آئنوں یا گیس آئنوں کی بمباری کے تحت، بیک وقت ان بخارات والے مادوں یا ان کے ری ایکٹنٹس کو سبسٹریٹ پر جمع کرنا۔ ایک پتلی فلم حاصل کرنے کے لئے.آئن کی کوٹنگآلہویکیوم وانپیکرن، پلازما ٹیکنالوجی اور گیس گلو ڈسچارج کو یکجا کرتا ہے، جو نہ صرف فلم کے معیار کو بہتر بناتا ہے بلکہ فلم کے اطلاق کی حد کو بھی بڑھاتا ہے۔اس عمل کے فوائد مضبوط تفاوت، اچھی فلم آسنجن، اور مختلف کوٹنگ مواد ہیں۔آئن چڑھانا کا اصول سب سے پہلے DM Mattox نے تجویز کیا تھا۔آئن چڑھانا کی بہت سی قسمیں ہیں۔سب سے عام قسم بخارات سے متعلق حرارتی نظام ہے، بشمول مزاحمتی حرارت، الیکٹران بیم ہیٹنگ، پلازما الیکٹران بیم ہیٹنگ، ہائی فریکوئنسی انڈکشن ہیٹنگ اور دیگر حرارتی طریقے۔