آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے والی ٹیکنالوجی

درحقیقت، آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے والی ٹیکنالوجی ایک جامع ٹیکنالوجی ہے۔یہ ایک جامع سطح کے آئن ٹریٹمنٹ تکنیک ہے جس میں آئن امپلانٹیشن اور جسمانی بخارات جمع کرنے والی فلم ٹیکنالوجی، اور ایک نئی قسم کی آئن بیم سطح کی اصلاح کی تکنیک ہے۔جسمانی بخارات جمع کرنے کے فوائد کے علاوہ، یہ تکنیک کسی بھی موٹائی کی فلم کو زیادہ سخت کنٹرول کے حالات میں مسلسل بڑھا سکتی ہے، فلمی تہہ کی کرسٹل پن اور واقفیت کو زیادہ نمایاں طور پر بہتر بنا سکتی ہے، فلم پرت/سبسٹریٹ کی چپکنے والی طاقت کو بڑھا سکتی ہے، کثافت کو بہتر بنا سکتی ہے۔ فلم کی تہہ کی، اور کمرے کے درجہ حرارت کے قریب مثالی سٹوچیومیٹرک تناسب کے ساتھ کمپاؤنڈ فلموں کی ترکیب کریں، بشمول نئی قسم کی فلمیں جو کمرے کے درجہ حرارت اور دباؤ پر حاصل نہیں کی جا سکتیں۔آئن بیم کی مدد سے جمع نہ صرف آئن امپلانٹیشن کے عمل کے فوائد کو برقرار رکھتا ہے، بلکہ سبسٹریٹ سے بالکل مختلف فلم کے ساتھ سبسٹریٹ کا احاطہ بھی کر سکتا ہے۔
ہر قسم کے جسمانی بخارات کے جمع ہونے اور کیمیائی بخارات کے جمع کرنے میں، معاون بمباری آئن بندوقوں کا ایک سیٹ شامل کیا جا سکتا ہے تاکہ ایک IBAD سسٹم بنایا جا سکے، اور IBAD کے دو عمومی عمل ہیں، جیسا کہ تصویر میں دکھایا گیا ہے:

جیسا کہ Pic (a) میں دکھایا گیا ہے، ایک الیکٹران بیم کے بخارات کا ذریعہ آئن گن سے خارج ہونے والے آئن بیم کے ساتھ فلم کی پرت کو روشن کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، اس طرح آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے کا احساس ہوتا ہے۔فائدہ یہ ہے کہ آئن بیم کی توانائی اور سمت کو ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے، لیکن صرف ایک یا محدود مرکب، یا مرکب کو بخارات کے ذریعہ کے طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے، اور مرکب کے اجزاء اور مرکب کا ہر بخار کا دباؤ مختلف ہوتا ہے، جو اسے مشکل بناتا ہے۔ اصل وانپیکرن ماخذ کی ساخت کی فلمی پرت حاصل کرنے کے لیے۔
Pic (b) آئن بیم سپٹرنگ اسسٹڈ ڈپوزیشن کو دکھاتا ہے، جسے ڈبل آئن بیم سپٹرنگ ڈیپوزیشن بھی کہا جاتا ہے، جس میں آئن بیم سپٹرنگ کوٹنگ میٹریل سے بنا ہدف، سپٹرنگ پروڈکٹس کو بطور ذریعہ استعمال کیا جاتا ہے۔اسے سبسٹریٹ پر جمع کرتے وقت، آئن بیم سپٹرنگ اسسٹڈ ڈپوزیشن دوسرے آئن ماخذ کے ساتھ شعاع ریزی کے ذریعے حاصل کیا جاتا ہے۔اس طریقہ کار کا فائدہ یہ ہے کہ پھٹے ہوئے ذرات میں خود ایک خاص توانائی ہوتی ہے، اس لیے سبسٹریٹ کے ساتھ بہتر چپکنے والی ہوتی ہے۔ٹارگٹ کے کسی بھی جزو کو اسپٹرڈ کوٹنگ کیا جا سکتا ہے، لیکن یہ فلم میں ری ایکشن سپٹرنگ بھی ہو سکتا ہے، فلم کی ساخت کو ایڈجسٹ کرنا آسان ہے، لیکن اس کی جمع کرنے کی کارکردگی کم ہے، ہدف مہنگا ہے اور سلیکٹیو سپٹرنگ جیسے مسائل ہیں۔