عام طور پر سی وی ڈی کے رد عمل اعلی درجہ حرارت پر انحصار کرتے ہیں، اس لیے تھرمل طور پر پرجوش کیمیائی بخارات جمع (TCVD) کہا جاتا ہے۔یہ عام طور پر غیر نامیاتی پیشگی استعمال کرتا ہے اور گرم دیوار اور کولڈ وال ری ایکٹر میں انجام دیا جاتا ہے۔اس کے گرم طریقوں میں ریڈیو فریکوئنسی (RF) ہیٹنگ، انفراریڈ ریڈی ایشن ہیٹنگ، ریزسٹنس ہیٹنگ وغیرہ شامل ہیں۔
گرم دیوار کیمیائی بخارات کا ذخیرہ
درحقیقت، گرم دیواروں والا کیمیائی بخارات جمع کرنے والا ری ایکٹر ایک تھرموسٹیٹک فرنس ہے، جسے عام طور پر وقفے وقفے سے پیداوار کے لیے مزاحمتی عناصر سے گرم کیا جاتا ہے۔چپ ٹول کوٹنگ کے لیے گرم دیوار کیمیکل بخارات جمع کرنے کی پیداواری سہولت کی ڈرائنگ مندرجہ ذیل کے طور پر دکھائی گئی ہے۔یہ گرم دیوار کیمیائی بخارات کا ذخیرہ TiN، TiC، TiCN اور دیگر پتلی فلموں کو کوٹ کر سکتا ہے۔ری ایکٹر کو کافی بڑا بنانے کے لیے ڈیزائن کیا جا سکتا ہے اور پھر بڑی تعداد میں اجزاء کو پکڑا جا سکتا ہے، اور حالات کو جمع کرنے کے لیے بہت درست طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔تصویر 1 سیمی کنڈکٹر ڈیوائس پروڈکشن کے سلکان ڈوپنگ کے لیے ایپیٹیکسیل لیئر ڈیوائس دکھاتی ہے۔فرنس میں سبسٹریٹ کو عمودی سمت میں رکھا جاتا ہے تاکہ ذرات کے ذریعے جمع ہونے والی سطح کی آلودگی کو کم کیا جا سکے، اور پیداوار کی لوڈنگ کو بہت زیادہ بڑھایا جا سکے۔سیمی کنڈکٹر کی پیداوار کے لیے گرم دیوار والے ری ایکٹر عام طور پر کم دباؤ پر چلائے جاتے ہیں۔
پوسٹ ٹائم: نومبر-08-2022